판매용 중고 INTERNATIONAL PLASMA CORPORATION 3000 PN-1813 #293827895

INTERNATIONAL PLASMA CORPORATION 3000 PN-1813은 반도체 제조 및 기타 첨단 산업을위한 고급 플라즈마 처리 기능을 제공하는 최첨단 etcher/asher 장비입니다. 이 시스템은 처리량과 반복성이 높은 다양한 재료의 정확하고 균일 한 플라즈마 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 을 제공하도록 설계되었습니다. 최첨단 기술과 기능을 통합하여 최신 제조 공정의 까다로운 요구 사항을 충족시킵니다 (영문). 이 장치는 RIE (Reactive Ion Etching) 프로세스를 사용하여 높은 정밀도와 제어를 가진 기판의 표면에서 재료를 제거합니다. 또한 기판 표면에서 포토 esist 및 기타 유기 오염 물질을 제거하기위한 애쉬 (ashing) 기능을 제공합니다. PN-1813 (PN-1813) 은 특정 응용 요구 사항에 따라 플라즈마 공정 매개변수를 조정하기 위해 여러 개의 가스 분사 포트, RF 전원 공급 장치 및 온도 조절 시스템을 갖추고 있습니다. 3000 PN-1813 의 주요 기능 중 하나는 고급 진공기로, 깨끗하고 안정적인 처리 환경을 보장합니다. 이 도구에는 최적의 플라즈마 처리 성능에 필요한 진공 수준을 달성하고 유지하기 위해 터보 분자 펌프 (turbomolecular pump), 극저온 펌프 (cryogenic pump) 및 다양한 압력 게이지가 장착되어 있습니다. 진공 자산에는 공정 챔버 (process chamber) 의 진공 조건을 손상시키지 않고 효율적인 기판 적재 및 언로드를위한 하중 잠금 챔버 (load lock chamber) 도 포함되어 있습니다. PN-1813 모델은 운영자가 프로세스 매개변수, 레시피 프로파일, 실시간 데이터 피드백 (feedback) 을 설정하고 모니터링할 수 있는 사용자에게 친숙한 인터페이스로 제어됩니다. 이 장비의 소프트웨어를 사용하면 가스 유량, RF 전원 수준, 프로세스 시간 및 기타 중요한 매개변수를 정확하게 제어하여 원하는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 결과를 일관되게 달성할 수 있습니다. 또한 이 소프트웨어에는 다운타임을 최소화하고 생산성을 극대화하기 위한 문제 해결/예방 유지 관리 (Diagnostic Tools for Troubleshooting and Preventive Maintenance) 가 포함되어 있습니다. 플라즈마 생성 측면에서 INTERNATIONAL PLASMA CORPORATION 3000 PN-1813은 고주파 RF 전원을 사용하여 공정 챔버 내에 플라즈마를 만들고 유지합니다. "플라즈마 '는 약실 에 주입 된" 가스' 혼합물 에 RF 동력 을 가하여 생성 되며, 그 결과 기질 표면 과 상호작용 하여 물질 을 효과적 으로 에치 (etch) 하거나 재 (ash) 하게 하는 반응성 종 이 형성 된다. 시스템의 전원 공급 장치 (Power Supplies) 는 프로세싱 주기 내내 일관된 플라즈마 성능을 위해 안정적이고 안정적인 RF 전원을 제공하도록 설계되었습니다. PN-1813 (PN-1813) 은 생산 환경에서 장기적인 안정성과 내구성을 보장하기 위해 고품질 재료와 컴포넌트로 제작되었습니다. 이 장치는 간편한 유지 관리 액세스 및 서비스 기능을 갖춘 인체 공학적 설계 (ergonomic design) 를 통해 필요에 따라 신속하고 효율적인 문제 해결 및 구성요소 교체 작업을 수행할 수 있습니다. 국제 플라즈마 코퍼레이션 (INTERNATIONAL PLASMA CORPORATION) 은 또한 PN-1813 머신의 성능 및 가동 시간을 극대화하는 고객을 돕기 위해 종합적인 교육 프로그램 및 기술 지원 서비스를 제공합니다. 결론적으로, 3000 PN-1813 etcher/asher 도구는 반도체 제조 및 기타 고급 산업에서 고정밀 플라즈마 처리 응용 분야를위한 최첨단 솔루션을 나타냅니다. 첨단 기술, 정확한 제어 기능, 견고한 설계를 갖춘 PN-1813 (PN-1813) 은 다양한 소재 및 기판에 탁월한 에칭 및 애싱 성능을 제공할 수 있으며, 고품질의 플라즈마 (Plasma) 처리 결과를 얻으려는 기업에게 이상적인 선택입니다.