판매용 중고 HITACHI U-712AE #9211529
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HITACHI U-712AE는 고속 광학 기술을 사용하여 최고의 성능을 제공하는 드라이 필름 etcher/ash입니다. 이 에처/애셔 (etcher/asher) 는 높은 처리량과 정확도가 필요한 클린 룸 애플리케이션에 이상적입니다. Dual-Stage photoresist tehnology의 통합 덕분에 U-712AE는 매우 정밀도 높은 에칭 (< 0.01mm 정확도) 을 제공 할 수 있습니다. HITACHI U-712AE는 적합성 에칭 및 드라이 필름 애싱을위한 500W 초 보라색 레이저를 갖추고 있습니다. 이 레이저는 자동 초점 옵틱을 갖추고 있으며, 다양한 기판에서 패턴을 에치 할 수 있습니다. 조정 가능한 에치 속도는 1mm ~ 2.5mm/sec이며 스캔 크기는 1000 x 1000mm이며, 다양한 유형의 프로세스를 만들 수 있습니다. 또한, 인트라-에치 (intra-etch) 모드를 사용하면 단일 기판에 두 개의 독립 패턴을 가져올 수 있습니다. U-712AE에는 먼지 추출 시스템과 세련된 사용자 친화적 제어판이 제공됩니다. 이 제어판은 Windows 기반 소프트웨어와 강력한 직관적인 작업 (operation) 을 통해 프로세스 매개변수 (parameter) 와 작업 데이터 (job data) 를 쉽게 설정할 수 있습니다. 또한, HITACHI U-712AE 에는 통합 패턴 인식 소프트웨어가 포함되어 있으며, 이는 벡터화 스케치나 드로잉을 사용할 때 뛰어난 신뢰성과 정확성을 제공합니다. 또한, 독특한 설계는 하루에 1 회 30 분의 유지 보수 만 필요하므로 다운타임이 상당히 줄어 듭니다. U-712AE 드라이 필름 에처/애셔는 신뢰성이 높고 비용 효율적이며 작동이 간단합니다. 또한, 처리량이 높고 정확도가 최대인 경우, 대부분의 Cleanroom 애플리케이션에 적합한 솔루션입니다.
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