판매용 중고 HITACHI U-712A #9211532
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HITACHI U-712A는 마이크로 일렉트로닉스 산업의 첨단 기술 선두 기업인 HITACHI Instruments, Inc.의 드라이 에칭 머신입니다. 이 최첨단 에치 머신 (state-of-the-art etch machine) 은 고급 표면 금속 화 기술을 위해 특별히 설계되었으며 표면 산화물 제거 및 높은 종횡비 패턴화와 같은 응용 분야에 이상적인 도구입니다. HITACHI U712A (HITACHI U712A) 의 장점은 소재 제거 및 증착에 대한 완벽한 해상도와 정확한 제어를 통해 에치 (etch) 할 수 있습니다. 화학 에칭 공정을 사용하여 100 nm 이하의 특징의 표면 금속화에 대한 안정적인 결과를 생성합니다. 이 에칭 머신에는 정확한 결과를 위해 통합 웨이퍼 척 (wafer chuck) 및 진공 기반 도금 프로세스와 같은 고급 기능이 포함되어 있습니다. U-712A 에처의 처리 면적은 넓으며, 웨이퍼 표면 크기는 직경이 최대 16 인치입니다. 화학 에치 공정 (etch process) 은 높은 에치 속도와 우수한 수확량을 가능하게하여 부피 생산에 적합합니다. 통합 프로세스 제어 시스템은 0.1 미크론의 반복 가능성으로 높은 정밀도를 허용합니다. 또한 로드, 언로드, 프로세스 오버라이드를 자동화하여 안정성과 일관된 결과를 보장합니다. 최첨단 화학 에치 기술 외에도 U712A 는 원격 모니터링 및 제어, 레이저 안전 (Laser Safety) 연동, 통합 프로세스 모니터링 등 다양한 안전 기능을 갖추고 있습니다. 이는 운영자와 장치 모두에서 최고 수준의 안전을 보장합니다. 또한 HITACHI U-712A 는 HITACHI U-712A 의 간편하고 간편한 유지 관리 기능을 제공합니다. HITACHI U-712A 는 HITACHI U-712A 툴의 자체 진단 기능과 간편한 교체 기능 덕분에 간편합니다. 전반적으로 HITACHI U712A는 고급 마이크로 일렉트로닉 어플리케이션을 위한 안정적이고 비용 효율적인 에칭 솔루션입니다. 고급 기능과 강력한 에치 레이트 (etch rate) 는 빠르고 일관된 결과를 보장하는 반면, 안전 기능은 최적의 운영자와 장치 보호를 보장합니다. 고급 처리 제어 (Advanced Processing Control) 및 프로세스 모니터링 (Process Monitoring) 을 통해 재료 증착 및 제거를 정확하게 제어할 수 있으며, 높은 수율 및 신뢰성을 위해 반복 가능한 프로세스도 사용할 수 있습니다.
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