판매용 중고 HITACHI U-7050 #293748685

제조사
HITACHI
모델
U-7050
ID: 293748685
빈티지: 2007
Metal etcher Chamber Loader 2007 vintage.
HITACHI U-7050은 반도체 제조 및 연구 환경에서 다양한 기판의 정확하고 효율적인 처리를 위해 설계된 최첨단 에처/애셔 (etcher/asher) 장비입니다. 이 첨단 장비는 혁신적인 기술을 통합하여 탁월한 에칭 (etching) 및 클리닝 (cleaning) 기능을 제공하여 고품질의 결과를 보장하고, 반도체 장치 제작의 생산성을 향상시킵니다. U-7050 은 설치 공간이 제한된 클린 룸 (Clean Room) 환경에 설치하기에 적합합니다. 이 시스템에는 에치 (etching) 및 클리닝 (cleaning) 프로세스를 제어하고, 오염을 최소화하고, 확장 사용량보다 일관된 성능을 보장하는 최첨단 프로세스 챔버가 장착되어 있습니다. HITACHI U-7050의 주요 특징 중 하나는 다재다능성이 높은 것으로, 사용자가 실리콘, 갈륨 비소 (gallium arsenide) 및 기타 화합물 반도체를 포함한 다양한 기판 재료에서 광범위한 에칭 및 애싱 응용 프로그램을 수행 할 수 있습니다. 이 장치는 건식 에칭 (dry etching) 및 습식 (wet) 에칭 프로세스를 모두 지원하여 다양한 프로세스 요구 사항을 충족하고 원하는 결과를 정밀하게 달성할 수 있는 유연성을 제공합니다. U-7050의 에칭 기능은 고급 플라즈마 (plasma) 기술로 구동되며, 이는 기판 표면에서 재료를 선택적으로 제거하기 위해 반응성이 높은 가스 플라즈마를 생성합니다. 이 과정을 통해 정밀한 패턴 전송 및 재료 제거가 가능하며, 복잡한 기능과 높은 종횡비를 가진 마이크로 일렉트로닉 장치 (microelectronic device) 제작에 필수적입니다. 이 기계의 플라즈마 소스 (plasma source) 는 기판 전체에 균일하고 안정적인 플라즈마 분포를 전달하여 일관된 에칭 결과를 보장하고 프로세스 변화를 최소화하도록 신중하게 설계되었습니다. HITACHI U-7050은 에칭 외에도, 기판 표면에서 포토 esist 및 기타 유기 오염 물질을 효과적으로 제거하기위한 ashing 기능을 갖추고 있습니다. 이 공구는 플라즈마 애싱 (plasma ashing) 과 화학 애싱 (chemical ashing) 공정의 조합을 사용하여 기본 재료를 손상시키지 않고 철저한 청소를 달성하여 부드럽고 신뢰할 수있는 장치 제조를 가능하게합니다. U-7050 은 간편한 운영 및 유지 관리를 위해 설계되었으며, 사용자에게 친숙한 인터페이스와 프로세스 매개변수 (process parameter) 설정 및 자산 성능 모니터링을 위한 직관적인 제어 기능을 갖추고 있습니다. 이 모델에는 레시피 관리 (Recipe Management) 및 프로세스 제어 (Process Control) 기능을 비롯한 고급 자동화 기능이 장착되어 있어 운영 효율성을 높이고 여러 실행에서 재현 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 안전 기능은 HITACHI U-7050 (HITACHI U-7050) 에 통합되어 Plasma 프로세싱과 관련된 위험 요소로부터 사용자와 장비를 보호합니다. 이 장비에는 내장 센서와 인터 록 (interlock) 이 장착되어 있어 무단 액세스를 방지하고 작동 중 적절한 환기 및 가스 처리를 보장합니다. 또한 고급 모니터링 (Advanced Monitor) 및 진단 (Diagnostic) 툴이 통합되어 비정상 및 오작동을 감지하여 다운타임을 최소화할 수 있는 적절한 유지 관리 및 문제 해결을 지원합니다. 전반적으로 U-7050은 반도체 제조 및 연구 응용 분야에 뛰어난 성능, 다용성, 신뢰성을 제공하는 고급형 etcher/asher 장치입니다. 최첨단 기술, 사용자 친화적 설계를 갖춘 이 장비는 정밀 처리 (precision processing) 를 달성하고 반도체 (semiconductor) 장치 제작에 고품질의 결과를 얻을 수 있는 유용한 도구 역할을 합니다.
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