판매용 중고 HITACHI M206A #9396135

HITACHI M206A
제조사
HITACHI
모델
M206A
ID: 9396135
Poly etcher.
HITACHI M206A (HITACHI M206A) 는 연구 및 실험실 설정 모두에 정확한 웨이퍼 처리를 제공 할 수있는 열 에처/애셔 장비입니다. 이 시스템은 휴대성과 활용성을 염두에 두고 설계되었으며, 모든 기술 수준의 인력이 사용할 수 있습니다 (영문). M206A는 모든 Semadox 웨이퍼의 에칭 및 청소와 같은 광범위한 응용 프로그램을 다룰 수 있습니다. 안정성이 뛰어난 HITACHI M206A는 시간마다 높은 품질의 결과를 지속적으로 제공할 수 있습니다. M206A에는 고급 터치 패널 디스플레이와 8 인치 챔버 디자인이 있습니다. 이를 통해 황산 및 암모늄 비 플루오 라이드 (ammonium bifluoride) 와 같은 휘발성 화학 물질에 웨이퍼를 최적으로 노출 할 수 있습니다. 다양한 챔버 덮개 마운트 크기를 통해 HITACHI M206A는 최대 다용도로 작동합니다. 챔버 뚜껑의 마운트 크기는 4 인치 (MTF-4) 에서 8 인치 (MTF-8) 까지입니다. 한편, 디스플레이는 단위의 간단한 탐색 및 사용을 허용합니다. M206A에는 고급 온도 조절 장치 (Advanced Temperature Control Machine) 가 포함되어 있으며, 고급 자체 튜닝 기능을 갖추고 있으며 온도 범위를 0-80 ° C로 측정 및 유지할 수 있습니다. 따라서 각 Wafer 배치에 대한 사용자 안전성과 정확성을 보장하여 안정적이고 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. HITACHI M206A (HITACHI M206A) 는 온도와 시간 모두를 포함하여 사용자 지정을 위한 다양한 프로세스 매개 변수를 제공하여 유연성을 극대화합니다. 이 도구에는 자동 시작 (Auto-Start) 기능도 있습니다. 자동 시작 (Auto-Start) 기능을 사용하면 에셋의 타이밍을 수동으로 조정하지 않고도 챔버에서 웨이퍼를 별도로 로드하고 언로드할 수 있습니다. 사용자 안전은 M206A (M206A) 에서도 가장 중요합니다. M206A (예기치 않은 전원 장애 자동 감지 기능, 과열 방지 기능 등) 는 비상 정지 장치입니다. 이것은 사용자 안전을 보장하는 데 도움이됩니다. 결론적으로, HITACHI M206A는 종합적인 웨이퍼 처리 기능을 제공하는, 고급적이고, 효율적이며, 신뢰할 수 있는 열 에처/애셔입니다. 사용자 친화적 인 패널 디스플레이와 프로세스 매개변수 (array of process parameter) 를 통해, 모든 기술 수준의 사용자는 처리된 모든 배치에 대해 안정적이고 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 또한, M206A는 자동 비상 시작 안전 기능이 설치된 높은 수준의 안전성을 제공합니다.
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