판매용 중고 HITACHI M 712E ECR #9172571
URL이 복사되었습니다!
ID: 9172571
웨이퍼 크기: 8"
Plasma etcher, 8"
Wafer loading module:
(3) Cassette load ports
Four-axes robot
Wafer centering unit: Notch alignment and centering
Fan filter unit
Buffer / Loadlock chamber:
Two-axes robot
Buffer turbo molecular pump
Man / Machine interface:
PC with Magnetic / Optical drive
LCD Display
Keyboard / Pointer
(2) ECR etch chambers
(2) Gas boxes
One per chamber: Ar, Cl2, SF6, HBr, CF4, CHF3, O2, spare
(2) Capacitance manometers
Penning gauge
Microwave power monitor / Auto tuner
Chamber temperature control module
Etch turbo molecular pump
Etch coil magnet: 3-Coil type
Coil cooling water flow sensors
Dual input endpoint detection system
Backside Helium cooling
(2) Power supply units - One per chamber
(2) EC Temperature controllers - One per chamber
Facility interface box
Transformer box
FFB Unit.
HITACHI M 712E ECR은 광범위한 어플리케이션을 위해 설계된 프리미엄 전기 화학 에칭/애쉬닝 (ECR) 머신입니다. 이 장치는 컴팩트하고 작동이 용이하며, 다양한 재료를 빠르고, 정확하게 에치/애쉬 (etch/ash) 할 수 있기 때문에 고품질의 결과를 제공합니다. 머신은 스핀들 축, 이송 축, Y축을 포함하는 고유한 다중 축 시스템을 사용합니다. X, Y 및 Z 축은 서보 모터에 의해 구동되는 반면, 스핀들은 자율적으로 작동합니다. 이 기계는 플라스틱, 금속, 돌, 세라믹, 유리에 이르기까지 다양한 재료에서 에칭/애싱 할 수 있습니다. M 712E ECR은 안정적인 정밀도와 속도를 제공합니다. 이 장치에는 최대 5 개의 작업 (job recall) 을 위한 온보드 메모리가 장착되어 있어 작업 리콜이 쉽고 빠르게 반복됩니다. 이것은 고 출력 DC 전류와 결합되어 기계가 도전적인 에치/애쉬 응용 프로그램을 처리 할 수있게합니다. 내구성이 높은 석영 소재 (quartz material) 는 작업 영역 주변의 먼지 및 파편을 줄이기 위해 먼지 덮개와 함께 전문적인 수준의 정확성을 쉽게 달성 할 수 있습니다. HITACHI M 712E ECR은 사용이 매우 간편합니다. 7 인치 터치스크린 디스플레이가 적용된 직관적인 사용자 친화적 인터페이스 (user-friendly interface) 를 활용하여 운영 매개변수를 손쉽게 조정할 수 있습니다. 이 기계는 또한 자동 사전 설정 기능을 가지고 있으므로 최소 연산자 개입으로 최적의 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 운영자에게 실시간 피드백 (feedback) 을 제공하여 결과의 품질을 신속하게 확인할 수 있습니다. M 712E ECR은 경제적인 운영 비용을 지닌 비용 효율적인 기계입니다. 또한 3 년간의 무상수리 기간 (무상수리 기간) 이 제공되므로 모든 문제가 신속하고 효과적으로 처리되므로 시스템 작동을 최소화할 수 있습니다 (영문). 전반적으로 HITACHI M 712E ECR은 etch/ash 응용 프로그램에 이상적인 기계입니다. 다축계 (Multi-Axis System) 와 고출력 DC 전류 (High-Output DC Current) 는 빠르고 정확한 작업을 수행할 수 있는 반면, 직관적인 사용자 인터페이스와 실시간 피드백은 운영자에게 손쉬운 작업 리콜 및 결과 확인을 제공합니다. 이 디바이스의 비용 효율적인 운영 비용과 3 년간의 보증 기간 (보증) 을 통해 최적의 결과를 보장하는 현명한 투자 효과를 얻을 수 있습니다.
아직 리뷰가 없습니다