판매용 중고 HITACHI M 511 #9356465

HITACHI M 511
제조사
HITACHI
모델
M 511
ID: 9356465
웨이퍼 크기: 8"
Plasma etching system, 8".
HITACHI M 511 etcher/asher는 완전히 자동화된 최첨단 에칭 및 애싱 장비입니다. 직관적이고, 사용하기 쉬운 메뉴가 포함된 터치 스크린 인터페이스 (touch-screen interface) 를 통해 초보자와 전문가 모두에게 적합합니다. HITACHI M-511 (HITACHI M-511) 을 사용하면 디스플레이의 몇 가지 탭만으로 에칭 및 재싱 시간, 온도, 압력을 정확하게 조절할 수 있습니다. 또한 시스템에서 원하는 압력 및 온도 변화에 대한 자동 교정을 제공합니다. 이 장치는 1 미터 (1 미터) 스퍼터 소스를 사용하며 원하는 에치나 재의 깊이에 맞게 조정할 수 있습니다. 이 기계는 이중 10 혼 전극을 장착하여 효율적인 전기 화학 처리를 위해 높은 전력 밀도를 제공합니다. 이러한 전극은 더 높은 처리 속도를 위해 함께 연결 될 수 있습니다. 전극의 새로운 디자인은 또한 정확한 열 조절 및 열 균일성을 보장합니다. 또한 M 511을 사용하면 최고 500와트의 입력 전력을 조정할 수 있으므로 빠른 에칭 속도 (etching) 와 최대 수율 (revield) 을 얻을 수 있습니다. 이 도구에는 손쉬운 모니터링을 위한 내장형 전망창, 압력 조정을위한 전원 제어 스위치, 높은 충동으로부터 자산을 보호하는 과압 안전 스위치 (over-pressure safety switch), 긴급 정지 버튼 (emergency stop button) 과 같은 안전 기능도 포함되어 있습니다. 최적의 안전을 위해 M-511에는 이중 안전 모델도 있습니다. 이중 안전 장비는 두 가지 수준의 보안을 사용하여 모든 매개변수가 사전 설정된 안전 제한 (Safety Limit) 내에 있는지 확인합니다. HITACHI M 511 (HITACHI M 511) 에는 에칭 및 어싱 프로세스의 현재 매개변수를 감지하는 자동 샘플링 장치가 함께 제공됩니다. 그런 다음, 장치가 이러한 매개 변수를 빠르고 정확하게 조정하여 시간을 절약하고 수율을 향상시킬 수 있습니다. HITACHI M-511 에는 공통 etch 및 ash 프로세스를위한 지능형 사전 설정 프로그램, 현재 프로세스의 실시간 모니터링, 최적의 매개변수를 유지하기 위한 자동 조정 알고리즘 등 다양한 기능이 포함되어 있습니다. 또한 시스템에 사용자 정보와 설정을 저장할 수 있는 메모리 유닛이 있습니다. HITACHI는 M 511에 대해 1년 보증이 제공됩니다. 이는 예산을 가진 사람들에게 좋으며, 이 1 급 에칭 머신 (etching and ashing machine) 을 구입할 때 마음의 평화를 제공합니다.
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