판매용 중고 HITACHI M 511 #9257744

HITACHI M 511은 HITACHI 제품군의 일부인 etcher/asher입니다. 얇은 기판의 에칭 및 재싱을 위해 설계되었습니다. HITACHI M-511은 처리량이 많은 처리를 제공하기 위해 4 개의 개별 에칭 및/또는 애싱 채널을 독립적으로 또는 동시에 작동 할 수있는 멀티 채널 장비입니다. 0.01 토르 (Torr) 까지 낮게 생산 할 수있는 진공으로 설계되어 박막 재료의 에칭/애싱 (etching/ashing) 에서 최적의 작동이 가능합니다. M 511에는 각 웨이퍼의 균일성과 꾸준한 전류 흐름을 보장하기 위해 부품 레벨링 (component leveling) 및 레인 트리밍 (lane-triming) 기능이 장착되어 있습니다. 또한, 시스템에는 필름-두께 모니터링 장치 (film-thickness monitoring unit) 가 있으며, 기판 에치/애쉬 레이트의 약간의 드리프트를 자동으로 보상합니다. 통합 안전기 (Integrated Safety Machine) 는 기판의 과잉 식각 또는 과다화를 방지하여 처리 중에 섬세한 재료가 손상되지 않도록 합니다. M-511 에는 안전하고 효율적인 처리 환경을 보장하는 통합 질소 흐름 (Nitrogen Flow) 컨트롤러가 장착되어 있습니다. 견고한 디자인의 HITACHI M 511은 시간당 최대 150 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 정확한 에칭 및 애싱 (ashing) 요구 사항을 충족하는 다용도 도구입니다.