판매용 중고 HITACHI M 511 #293829872

HITACHI M 511은 다양한 기질의 화학 및 물리적 에칭에 사용되는 저전력, 중성능 etcher/asher입니다. 전자 제품, 반도체, 태양광 산업 등 다양한 분야에 적합합니다. 이 장비는 연구 및 제작 설정 모두에서 널리 사용됩니다. 이 "시스템 '의 주성분 은 전기" 에치 챔버' 로서, 저전압 전기장 이 강력 한 자석 에 의해 생성 된다. "에칭 '은 기판 에 있는" 이온' 의 활기 넘치는 폭격 과정 을 통해 수행 되며, 그 다음 에는 표면 에 원하는 "패턴 '을 만드는 데 사용 된다. 챔버 내부의 진공은 이온의 이동성을 증가시켜 에칭 (etching) 과정을 최적화합니다. HITACHI M-511의 고급 제어 장치 (Advanced Control Unit) 는 작업 압력, 흐름 속도, 에치 속도 등 다양한 매개변수에 대한 정확한 에칭 제어를 제공합니다. 이렇게 하면 얇은 "필름 '을 균일 하게 에칭 할 수 있으므로 매우 높은 해상도 를 얻을 수 있다. 챔버에는 스테인리스 스틸 플래튼 (Stainless Steel Platen) 이 장착되어 기판의 원치 않는 측면 벽 에칭을 줄일 수 있습니다. 머신에는 에칭 프로세스를 자동으로 제어하는 소프트웨어도 포함되어 있습니다. 최적의 에칭 프로파일, 제어 가능한 매개변수 (예: 펄스 주파수, 펄스 지속 시간), 사용자에게 친숙한 그래픽 인터페이스를 제공하는 강력한 알고리즘이 특징입니다. 또한 사용자는 최대 10 가지 에칭 레시피를 메모리에 저장할 수 있습니다. 또한, 이 도구에는 화학 에칭을위한 가스 전달 자산도 장착되어 있습니다. 이를 통해 산소, 염소, 육불화 황 (SF6) 과 같은 다양한 에칭 가스를 안전하고 정확하게 전달 할 수 있습니다. 가스 전달 모델의 오리 피스는 가스 유속 (gas flow rate) 을 제어 할 수 있습니다. M 511은 신뢰할 수 있고 다재다능한 에처/애셔입니다. 이 제품은 사용자 안전을 염두에 두고 설계되었으며, 고급 제어 장비 (Advanced Control Equipment) 는 전자 제품, 반도체, 태양광 산업 분야의 다양한 어플리케이션을 위한 이상적인 선택입니다.