판매용 중고 HITACHI M 501A #9161263

HITACHI M 501A
제조사
HITACHI
모델
M 501A
ID: 9161263
Dry etcher.
HITACHI M 501A는 HITACHI High Technologies Corporation에서 생산하는 고급 에칭 및 애셔 장비입니다. 이 시스템은 사용자에게 다양한 표면의 재료를 에치 (etch) 하거나 제거 (remove) 하고 클리닝 (clean) 할 수 있는 강력한 도구를 제공하도록 설계되었습니다. 이 기계는 기계적, 전기적, 매우 높은 진공 기술의 조합을 사용하여 정확한 차원 컨트롤과 완벽한 표면 일관성을 제공합니다. 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 위해, 이 장치는 에칭 및 애싱에 필요한 주파수 및 전압을 제공하기 위해 펄스 고주파 전원 공급 장치를 갖추고 있습니다. 주파수 수준은 500Hz ~ 5kHz 범위 내에서 조정이 가능하므로 특정 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 요구에 따라 주파수를 조정할 수 있습니다. 이 기계는 또한 개선 된 빔 전달 도구 (beam delivery tool) 를 통합하여 강화 된 빔 (beam) 을 전달하고 향상된 속도와 수율을 제공합니다. 또한, 기계는 갑자기 설명되지 않은 온도 변화로 인한 가공소재 손상을 방지 할 수있는 온도 조절 (temperature control) 자산을 갖추고 있습니다. 온도 감지 (temperature detection) 와 경보 모델 (alarming model) 은 온도 상승이 위험한 수준에 도달하기 전에 경고를 제공하여 장비와 가공물을 모두 보호합니다. 이 기계에는 진공 타이트 벨로우 챔버 (vacuum tight bellows chamber) 가 장착되어 있어 사용자에게 최대한의 안전 예방 조치를 제공합니다. 또한 다양한 응용 프로그램 (application) 과 재료 (material) 유형의 요구를 충족시켜 최고의 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 조건을 유지할 수있는 효과적인 가스 제어 모듈이 특징입니다. M 501A 장비는 또한 뛰어난 인체 공학적 설계 및 운영 편의성을 제공합니다. 작동이 간편한 제어 시스템을 사용하면 응용 프로그램 매개변수에 대한 설정을 사용자 정의할 수 있습니다. 또한 작업 영역 (Work Area) 에는 가공소재를 쉽게 배치할 수 있는 넓은 환경과 재료 안내서, 에칭 (Etching) 및 애싱 (Ashing) 도구에 쉽게 액세스할 수 있습니다. 공업· 실험실 에칭 (etching)· 애싱 (ashing) 사업의 효율성이 높고 이상적인 선택이다. 또한, 이 장치는 다양한 온도 (temperatures) 및 재료 (materials) 유형이 있는 환경에서 사용하도록 최적화되어 다양한 응용 프로그램 환경에 적합합니다.
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