판매용 중고 HITACHI M 318 #9144927

HITACHI M 318 은 다양한 애플리케이션의 요구 사항을 충족하도록 설계된 다목적 에칭/애셔 (etching/asher) 장비입니다. 이러한 신뢰성 있는 시스템은 운영 비용을 절감하고 신뢰성을 향상시키는 데 필요한 최소한의 다양한 운영/유지 보수 (maintenance) 요구 사항을 필요로 합니다. M 318의 공정 챔버 크기는 250W x 200D x 200H mm이고 최대 소스 온도는 1000 ° C입니다. 이 장치는 넓은 영역 균일성과 반복 성 기능을 염두에두고 설계되었습니다. 전동 척, 공기 베어링 테이블, 진공 기계 및 전자 제어 기판 온도 센서가있는 자동 프로그래밍 가능 웨이퍼 조작 장치 (automated programmable wafer manipulation unit) 가 특징입니다. 웨이퍼의 조작은 조절 가능한 넓은 사각형 수평 트레이와 통합 된 엔드 이펙터 (end effector) 가있는 전자 구동 캔틸레버 암 (cantilever arm) 에 의해 촉진됩니다. 컴퓨터 제어 발전기 (computer-controlled generator) 와 기화 모듈 (vaporization module) 이 공구에 통합되어 증착율, 온도 및 증착 물질의 양을 정밀 제어할 수 있습니다. 이렇게 하면 기판의 단순 레이어 또는 다중 레이어의 균일 한 증착이 용이해집니다. 컴퓨터 컨트롤은 또한 양극 산화 (anodic oxidation) 및 에칭 매개변수를 쉽게 최적화 및 조정할 수 있습니다. HITACHI M 318 (HITACHI M 318) 은 터치 스크린을 통해 작동할 수 있고 모든 매개변수에 대한 시각적 모니터링 기능을 제공하는 맞춤형 모니터와 함께 제공됩니다. 또한 고급 웨이퍼 온도 제어 (advanced wafer temperature control) 와 다양한 엔드 이펙터 위치 (end-effector position) 를 포함한 다양한 프로그래밍 옵션 (wafer 당 온도 프로파일 측정 및 분석 기능 포함) 을 제공하여 제품 개발을위한 귀중한 도구를 제공합니다. M 318 은 프로세스 설정을 용이하게 하기 위해 자동 레시피 생성기 (automated recipe generator) 를 비롯한 고급 소프트웨어와 함께 제공됩니다. 이렇게 하면 에칭 (etching) 또는 어싱 (ashing) 프로세스의 속도와 정확도를 높이고 반복 가능한 프로세스 작업을 허용할 수 있습니다. 신뢰성을 높이기 위해 이 자산에는 내장된 진단 모델 (Diagnostics Model) 과 인터넷 연결 (Internet Connection) 이 포함되어 있어 정기적 인 원격 모니터링 및 문제 해결을 보장합니다. 안전을 위해 HITACHI M 318은 내장형 배기 장비와 종합적인 긴급 차단 버튼을 갖추고 있습니다. 또한 가스 밸브, 진공 시스템, 공기 필터와 같은 다양한 안전 장비가 제공됩니다. 시스템의 견고성을 보장하기 위해 정기적인 유지 보수 (maintenance) 를 실시하여 최적의 성능을 보장해야 합니다. M 318 (M 318) 은 세라믹, 유전체, 폴리머 및 금속의 에칭, 웨이퍼의 애싱 또는 크리스탈 슬라이싱 (crystal slicing) 과 같은 다양한 응용 분야에 적합한 매우 신뢰할 수 있고 다용도 에칭/애싱 장치입니다. 모든 박막 증착 공정과 호환되는 HITACHI M 318은 연구 실험실과 제조 운영 모두에 적합합니다.