판매용 중고 HITACHI M 308NFXW #9103889

HITACHI M 308NFXW
제조사
HITACHI
모델
M 308NFXW
ID: 9103889
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1993
Aluminum etcher, 8" Gas: BCl3, CL2, CHF3, O2, N2, He 1993 vintage.
HITACHI M 308NFXW etcher/asher는 다양한 에칭 및 애싱 어플리케이션에서 정밀도 및 제어를 제공하는 고성능 머신입니다. 이 기계는 플라즈마 에칭, 반응성 이온 에칭, 유도 결합 플라즈마 에칭 등 다양한 작업을 수행하도록 설계되었습니다. 이 장치는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 응용 프로그램을 최적으로 제어하는 자동 조정 된 2 단계 가스 전달 시스템으로 구동됩니다. M 308NFXW는 고품질 에칭/애싱 결과를 얻기 위해 깨끗하고, 균일하며, 신뢰할 수있는 방전을 제공하는 원형 플라즈마 발전기를 자랑합니다. 이 시스템은 에칭/애쉬 (etching/ashed) 재료를 더 낮은 온도에서 처리 할 수 있도록 보장하고, 일관된 에칭/애싱 결과를 내기 위해 높은 정밀도와 신뢰성을 제공합니다. 또한, 이 장치에는 제어 된 환경 챔버 (controlled environment chamber) 가 포함되어 있으며, 여기에는 기판의 손상 및 오염 위험을 줄이기 위해 고밀도 절연이 포함됩니다. HITACHI M 308NFXW 는 또한 요구사항에 따라 조정할 수 있는 대압진공시스템 (Vacuum System) 을 갖추고 있어, 통일된 작업 환경과 최적의 에칭 (Etching) 및 애싱 (Ashing) 결과를 전달하는 데 도움이 됩니다. M 308NFXW 는 프로세스의 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 매개변수를 제어할 때 매우 정밀도를 제공합니다. 여기에는 제어 가능한 압력 및 기판의 온도, 에칭/애싱 가스 흐름 및 에칭/애싱 결과에 대한 최적의 해상도가 포함됩니다. 또한 HITACHI M 308NFXW 에는 다양한 매개변수를 손쉽게 작동하고 조정할 수 있는 편리한 제어판 (Control Panel) 이 포함되어 있습니다. 전반적으로 M 308NFXW Etcher/Asher는 다양한 에칭 및 애싱 응용 프로그램을위한 훌륭한 기계입니다. 안정적이고 균일 한 결과를 일관된 정밀도로 제공 할 수 있으므로, 탁월한 에칭/애싱 (etching/ashing) 결과를 만들 때 품질이 보장됩니다. 이를 통해 HITACHI M 308NFXW는 광범위한 어플리케이션에 이상적인 에처/애셔가 됩니다.
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