판매용 중고 HITACHI M 308ATE #9410977

HITACHI M 308ATE는 반도체 생산에 사용하도록 설계된 에처/애셔입니다. 매우 정확한 고품질 장치를 생산하는 완전 자동화 시스템입니다. 고정밀 스테퍼 모터, 강력한 레이저 및 고체 산화물 에칭 공정의 조합을 사용합니다. 이 장치는 신뢰성, 고속, 반복 가능한 에칭 및 플라즈마 재싱을 위해 설계되었습니다. 고속, 선형 모터 구동 X-Y 스테이지는 최대 직경이 48.5 mm 인 부품의 빠른 위치와 정확도를 제공합니다. 또한 자동 팔 (Automatic Arm) 을 사용하여 단일 평면에서 이동하고 스테이지에 로드할 수 있습니다. 이 시스템은 장치의 미세 구조 또는 회로의 손상 또는 왜곡 없이 두꺼운 실리콘 기판을 통해 에칭/애싱 (etching/ashing) 할 수 있습니다. M 308ATE는 습식 에칭과 플라즈마 에칭 (plasma etching) 의 조합을 사용하여 4 단계 에칭 프로세스를 사용하며, 여기에는 아르곤 기반 가스 혼합물로 기질의 폭격이 포함됩니다. "레이저 '는 회로" 레이아웃' 에 "홀로그램 '과 같은 무늬 를 만들 수 있게 해 주며, 장치 형성을 위한 극히 빠른 메커니즘을 제공한다. 또한, 시스템은 4 단계 (levelasynchronous) 프로세스를 사용하여 올바른 타이밍에서 다음 단계 사이클을 트리거합니다. 사용자 친화적 운영은 배치 (Batch) 운영, 연구 및 개발 (Research and Development) 에 이르기까지 광범위한 애플리케이션에 이상적입니다. 각 단계에 대해 여러 매개 변수 설정과 사용자 프로그래밍 가능한 함수가 있으며, 다용도 및 정확한 연산이 가능합니다. 또한 자동 모니터링 (Automatic Monitoring) 및 제어 (Controls) 와 같은 안전 기능이 내장되어 있어 높은 수준의 안전성과 신뢰성을 제공합니다. HITACHI M 308ATE는 혁신적이고 신뢰할 수 있는 Etcher/Asher로 고해상도, 높은 정확도 및 고속 생산을 제공합니다. 반도체 생산을 위한 종합적인 솔루션으로, 완성된 부품의 생산성과 품질을 높이는 안정적이고 효율적인 플랫폼 (platform) 을 제공합니다.