판매용 중고 HITACHI M 308ATE #293660510
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ID: 293660510
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 2000
Metal etcher, 6"
Microwave: 2.65 GHz
RF Bias: 2 MHz
3 ECR Coils
Etch chamber
Microwave ash chamber: 2.65 GHz
(2) Load locks
Transfer chamber
MFC
Chiller
Power supply
2000 vintage.
Hitachi HITACHI M 308ATE는 M 시리즈의 최상위 etcher/asher입니다. 리토 그래피 제작 작업 및 기타 업종별 용도를위한 강력하고 다양한 도구입니다. 낮은 유지 보수 디자인과 컴팩트 한 디자인으로 설계되었습니다. 이 기능에는 가스 흐름 제어, 프로그래밍 가능한 정밀 깊이 제어, 고급 제어 콘솔 등이 있습니다. M 308ATE는 에칭 메탈, 유리 및 결정 표면이 가능합니다. 각 층마다 정밀한 가스 흐름을 허용하는 고밀도 가스 흐름 제어 (gas flow control) 기능이 있습니다. "가스 '조절 은" 컨트롤 콘솔' 을 통해 조정 할 수 있으므로, "가스 '조절 은 작업 에 필요 한 정확 한 압력 수준 을 달성 할 수 있다. 깊이 조절은 미크론 측면에서 에칭/애싱 (etching/ashing) 의 깊이를 조정하여 매우 정확한 에칭을 허용합니다. HITACHI M 308ATE 콘솔은 고급 (advanced) 으로, 작업에 따라 설정할 수 있는 여러 컨트롤을 제공합니다. 여기에는 가스 부피, 가스 압력, 속도 조절 및 각 층의 더 세밀한 조정 (예: 깊이 및 면적) 이 포함됩니다. 또한 다국어 디스플레이 (multi-language display) 를 통해 여러 언어를 사용하는 사용자가 etcher를 사용할 수 있습니다. M 308ATE 는 낮은 유지 보수 설계를 통해 설계되었는데, 이는 유지 보수를 최소화해야 제대로 작동할 수 있다는 의미입니다. 컴팩트 한 "디자인 '으로 인하여 대부분 의 작업 구역 에 손쉽게 맞출 수 있게 되었으며, 또한 직장 으로 운반 할 수 있게 되었다. 에처 (etcher) 에는 먼지 및 기타 오염 물질로부터 보호하는 내장 필터 및 배기 시스템도 제공됩니다. HITACHI M 308ATE는 견고하고 신뢰할 수 있는 Etcher/Asher로, 높은 수준의 정밀도와 제어를 제공합니다. 다재다능성 (versitility) 은 모든 제작 작업에 이상적인 선택이며, 유지 보수 설계가 낮아 지속적인 유지 관리 및 주의가 필요없이 터프한 에칭/애싱 (etching/ashing) 프로젝트를 수행 할 수 있습니다. 고급 제어 콘솔 (Advanced Control Console) 은 사용자에게 매우 훌륭한 에칭/애싱 (etching/ashing) 기능을 제공하는 반면, 컴팩트한 디자인으로 모든 작업 환경에 완벽하게 맞출 수 있습니다.
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