판매용 중고 HITACHI / KOKUSAI RAM6500 #9251841

HITACHI/KOKUSAI RAM6500은 업계 및 연구 기관을 위해 설계된 최첨단 에처 및 애셔입니다. 이 시장을 선도하는 진공 처리 장비에는 고정밀도 에칭 (etching), 웨이퍼 절삭 (wafer cuting) 및 단시간 애싱 (ashing) 기능이 결합된 고급 기술이 함께 제공됩니다. HITACHI RAM6500은 단일 운영 기간 (Operating Period) 에 다양한 레시피 (레시피) 를 지원하는 통합 설계로 인해 탁월한 다용도 수준을 제공합니다. 고급 기능에는 온도 조절 장비, 광역 프로세스 챔버 (wide-range process chamber) 및 설정을 쉽게 조작할 수 있는 사용자 친화적 인 인터페이스가 포함됩니다. 온도 조절 시스템은 일정한 프로세스 조건을 유지하고 안정적이고 정확한 결과를 제공합니다. 또한, 광범위한 공정 챔버 (process chamber) 는 칩에서 최대 200mm까지 다양한 기판 크기를 수용 할 수 있으며, 더 큰 유연성과 더 넓은 적용 범위를 제공합니다. KOKUSAI RAM6500의 사용자 친화적 인 인터페이스를 사용하면 etching 매개 변수를 쉽게 저장, 리콜 및 수정할 수 있습니다. 이 도구에는 운영 변경이 발생하면 사용자에게 경고하는 안전 (safety) 기능도 포함되어 있으므로 최적의 안전을 제공합니다. 또한, RAM6500은 반복 가능성 점수가 ± 0.1 äm 이내인 우수한 프로세스 반복성을 제공하여 각 파운드리 실행에 대한 높은 정확성과 일관성을 보장합니다. 이 장치는 컨트롤러, 자동 기판 홀더, 진공 챔버, 비활성 가스 전달 기계, 에칭 도구, 애싱 에셋 등 다양한 구성 요소로 구성되어 있습니다. 이러한 모든 구성 요소는 사용자의 원하는 레시피를 빠르고 효율적으로 구현하기 위해 함께 작동합니다. 또한 HITACHI/KOKUSAI RAM6500은 최대 4개의 웨이퍼를 동시에 가져와 프로세스 효율성을 높이고 전체 워크로드를 줄일 수 있습니다. 전반적으로 HITACHI RAM6500은 뛰어난 프로세스 기능, 다용도, 사용 편의성을 제공하는 고급 etcher/asher입니다. 고정밀도 에칭 (etching), 절삭 (cuting) 및 애싱 (ashing) 기능을 사용자 친화적 기능과 결합하여 다양한 에칭 및 애싱 요구에 이상적인 솔루션이 됩니다.