판매용 중고 HITACHI / KOKUSAI RAM-8500ZX #9389474
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HITACHI/KOKUSAI RAM-8500ZX는 복잡한 회로로 설치된 웨이퍼의 대용량 생산을 위해 설계된 고급 에칭 및 애셔 장비입니다. 이 시스템은 실리콘 (silicon), 석영 (quartz), 갈륨 비소 (gallium arsenide) 를 포함한 다양한 기판과 호환되며, 0.25 "m '정도의 기능 크기로 매우 정밀한 패턴을 만들 수 있습니다. 이 장치는 높은 처리량 및 병렬 처리 기능으로 인해 HDIC (High-Density Integrated Circuit) 제작에 특히 유용합니다. 이 기계는 주 컨트롤러, 가스/배기 도구, 컨트롤러 캐비닛, 진공 펌프 등 여러 장치로 구성되어 있습니다. 주 컨트롤러는 에셋의 핵심이며, 정확한 에칭 매개변수를 계산하고 동작 제어 명령을 제공하기 위해 8 개의 전용 CPU 세트로 구동됩니다. 또한 모델 프로세스를 모니터링하고 문제를 진단할 수 있습니다. "가스 '와 배기" 가스' 는 식각 과 퇴적 에 필요 한 "가스 '를 공급 하고, 또한 중고" 가스' 를 안전 하게 소진 하는 데 사용 된다. 컨트롤러 캐비닛에는 시스템 작동에 필요한 모든 전자 부품 (예: 컨트롤러 보드, 프로세스 카드, I/O 인터페이스) 이 있습니다. 마지막으로, 진공 펌프 (vacuum pump) 는 에칭 및 증착을위한 장치 챔버 내부에 진공을 생성하는 책임이 있습니다. 이 기계 에는 자동 "웨이퍼 로더 '가 장착 되어 있어서 자동" 웨이퍼' 의 로드, 언로드 및 반전 이 가능 하다. HITACHI RAM-8500ZX는 회로 패턴을 에칭 및 배치하기 위해 여러 이온 소스를 사용합니다. 이 이온 소스는 빠른 주기 (cycle time) 로 다양한 에칭 및 증착 프로세스를 제공 할 수 있습니다. 이 모든 것은 뛰어난 입자 제어를 제공하여 고품질 결과를 보장합니다. 또한, 이 기기는 최첨단 안전 (Safety) 기능을 갖추고 있어 매우 안정적이고 사용하기 쉽습니다. 결론적으로 KOKUSAI RAM-8500ZX etcher/asher 도구는 고밀도 집적 회로 생산을위한 강력한 도구입니다. 고급 기능 크기, 빠른 주기 시간, 뛰어난 입자 제어 기능을 제공합니다. 또한 매우 안정적이고 사용자 친화적이며, 대용량 및 자동화된 생산이 가능합니다. 이 기기는 모든 유형의 인쇄 회로 기판 에칭 및 애싱 (ashing) 요구에 적합합니다.
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