판매용 중고 HITACHI DM 421P #9286876

HITACHI DM 421P는 웨이퍼 처리를 위해 특별히 설계된 에처/애셔입니다. 4 개의 독립적 인 공정 챔버와 간단한 사용자 인터페이스가있는 컴팩트 한 디자인이 특징입니다. 이 장비는 외부 환경이 민감한 웨이퍼 재료에 미치는 영향을 최소화하기 위해 슬라이딩 도어 (sliding door) 로 둘러싸여 있습니다. 시스템은 단일 프로세스 주기에서 최대 4 개의 웨이퍼를 동시에 처리 할 수 있습니다. 사용하기 쉬운 프로덕션 레시피 스크립팅 엔진, 웨이퍼 핸들러 및 3 축 선형 전송 메커니즘이 제공됩니다. 장치의 수평 공정 챔버 (horizontal process chamber) 는 웨이퍼에 균일 한 에칭/애쉬 닝을 보장하기 위해 균일 한 온도 분포를 갖는다. DM 421P 는 정밀한 온도 조절이 가능한 고정밀 온도 컨트롤러를 사용하여, 보다 뛰어난 온도 균일성과 정확성을 제공합니다. 건조 및 습식 기능을 통해 프로세스 엔지니어는 응용 프로그램 요구 사항을 충족하기 위해 레시피를 최적화 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 고급 자동 내부 전기 화학 모니터 (in-situ electrochemical monitor) 및 센서 세트를 장착하여 실시간 프로세스 모니터링 및 피드백을 제공합니다. 지능형 전송 도구 (Intelligent Transport Tool) 는 웨이퍼를 효율적으로 처리하는 반면, 웨이퍼 처리 명령은 여러 프로세스에 대해 쉽고 반복적으로 자동화할 수 있습니다. HITACHI DM 421P는 또한 비활성 가스 제거, 배기 포트 폐쇄 경보, 긴급 배기 포트 등 여러 가지 안전 기능을 제공합니다. 이러한 기능은 운영자가 잠재적 인 오염 물질에 노출되지 않도록 보호하며, 프로세스 재생성과 신뢰성을 높입니다. DM 421P 에는 레시피를 최적화하고 챔버 자산 (chamber asset) 매개변수에 대한 상세한 기록 보고를 제공하는 포괄적인 소프트웨어 툴 세트가 함께 제공됩니다. 이러한 도구를 사용하면 프로세스 레시피 (recipe) 의 효과와 모델의 성능을 평가할 수 있습니다. 전반적으로 HITACHI DM 421P는 사용자에게 고정밀 웨이퍼 (Wafer) 처리 기능을 제공하도록 설계되어, 잘 제어되고 안정적인 성능을 제공합니다. 독립 챔버 (Independent Chamber), 효율적인 웨이퍼 처리 (Wafer Handling) 및 종합 소프트웨어 (Comprehensive Software) 의 강력한 조합으로 모든 에치 및 애싱 애플리케이션에는 없어서는 안될 도구입니다.