판매용 중고 HITACHI 300LE #293667223

HITACHI 300LE 에처 (Etcher) 는 극도로 정밀하고 빠른 속도의 마이크로일렉트로닉 장치 에칭 및 에칭에 사용되는 고효율 에칭 및 애싱 장비입니다. 300LE은 주로 탄소, 질화물 및 산화물의 에치 화학 물질을 사용하는 견고하고 신뢰할 수있는 진공 에처/애셔입니다. HITACHI 300LE에는 X, Y, Z 방향으로 정확한 제어 및 위치를 보장할 수 있는 풀 사이즈 스테핑 모터 시스템이 장착되어 있습니다. 미세 회로 및 초전도체의 빠른 에칭을 위해 기판 에칭 속도를 최대 1150mm/s까지 제공 할 수 있습니다. etcher/asher 장치는 정확한 위치 제어 및 고급 온도 및 시간 제어 기능을 제공합니다. 또한 기판 온도를 관리하기위한 SCA 매개 변수와 시간을 제어하기위한 WCA 매개 변수를 제공합니다. 고해상도 디스플레이에는 고광도 LCD (High Brightness LCD) 와 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 가 포함되어 있어 시스템 전체를 쉽게 작동하고 모니터링할 수 있습니다. 300LE에는 호 제어에 대한 순환 파형, 에치 화학 공급에 대한 가스 흐름 비례 컨트롤러, 용매 증발을위한 드레인 콘센트가있는 수력 스크러버, 챔버 비활성 가스 재순환 도구 및 Y축, X축 및 Z축 동작 제어 에셋을 포함한 인라인 프로세스 컨트롤이 있습니다. 또한, HITACHI 300LE 에처는 안전 덮개, 진공 안전 탐지기 및 비상 정지 스위치를 갖춘 높은 수준의 안전 및 인체 공학 디자인을 갖추고 있습니다. 광범위한 프로세스 제어 (process control) 기능을 통해 사용자가 여러 기판에 대해 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 최적화할 수 있습니다. 300LE은 또한 낮고, 중간, 높은 에칭 속도 옵션과, 산화물, 질화물, 탄소 기반 저항층을 빠르게 제거하기위한 광범위한 에치 화학 물질을 제공합니다. 전반적으로 HITACHI 300LE 에처는 초고정밀도 및 고속 에칭을 위한 탁월한 선택입니다. 신뢰할 수있는 에치 화학 물질 (etch chemistry) 과 정확한 위치 제어 (position control) 를 통해 사용자는 에치 및 애싱 프로세스 모두에서 고품질 결과를 얻을 수 있습니다.