판매용 중고 GPTC / GRAND PLASTIC TECHNOLOGY CORP 50-300 #293637226

GPTC/GRAND PLASTIC TECHNOLOGY CORP 50-300은 다양한 프로세스, 극도의 정밀도 및 반복성을 갖춘 얕은 에처/애셔로, 기판에서 최대 300 nm 이상의 패턴을 제공 할 수 있습니다. 이 장비는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스 조건에 적합하며 단일 단계에서 작은 피쳐 크기를 생성하도록 설계되었습니다. 첨단 패터닝 (patterning) 기술을 통해 크고 작은 기능, 또는 매우 균일한 에칭 (etching) 또는 애싱 (ashing) 을 가진 영역을 다룰 수 있습니다. GPTC 50-300은 포토 esist 제거 및 매끄럽게와 같은 프로세스에 이상적인 단일 단계 얕은 에칭 및 애싱 시스템입니다. 이 장치는 50cm x 300cm 프레임으로 구성되며, 25cm x 50cm의 4 개의 플라즈마 반응 챔버가 있으며, 플랜지 인터페이스는 다양한 유형의 고정 어셈블리와 호환됩니다. 프레임에는 플라즈마 소스, 전원 공급 장치, 컨트롤러, 진공 펌프 등 필요한 모든 시스템 구성 요소도 포함됩니다. 그랜드 플라스틱 테크놀로지 (GRAND PLASTIC TECHNOLOGY CORP) 50-300의 독특한 디자인은 기판에 단단한 공차 기능을 달성하기 위해 에칭 및 애싱 프로세스를 단단히 제어 할 수 있습니다. 균일 한 "플라즈마 '분포 는 특이 한 특징 동질성 과 분해력 을 산출 하며, 그 특징 은 세로성 과 단단 한 선폭 의 조절 을 지니고 있다. 고급 자동 수정기 공정을 통해, 이 도구는 부품을 파괴 할 위험이 없이도 특별히 신중하게 제어되는 처리 환경이 필요한 위험한 마이크로 기능의 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 을 가능하게 할 수 있습니다. 자산의 고급 액세서리 (예: 바늘형 플라즈마 노즐, 고온 저항성 광학 마스크, 셔터 마스크, 넓은 영역. 또한 50-300 은 양호한 반복성을 유지하면서 부품의 유연한 배치 (placement) 및 전폭 처리 (edge-to-edge processing) 기능을 제공하는 고급 고정과 통합됩니다. 스핀 코팅, 근접 코팅, 증발, 스퍼터링 등 여러 기판 처리 기술과 전-사이트 증착 기술을 사용할 수 있습니다. 또한, C2F6/SF6, CF4/O2 및 CF4/Ar 혼합 가스와 같은 다양한 가스 화학 조합을 사용할 수 있으며, 여기서 혼합 비율을 쉽게 조정하여 원하는 프로세스 결과를 얻을 수 있습니다. 요약하자면, GPTC/GRAND PLASTIC TECHNOLOGY CORP 50-300 etcher-asher는 손상물이나 오염 물질에 영향을 미치지 않고 플라스틱 부품 및 기타 섬세한 재료의 완벽한 균일 한 에칭 및 재싱을 달성하기위한 이상적인 솔루션입니다. 이 모델은 최대 300 nm 이상의 피쳐 크기로, 정밀도가 높은 반복 가능하고 정확한 프로세스를 제공합니다. 모든 고급 에칭 및 애싱 시스템과 마찬가지로, GPTC 50-300은 사용자의 기본 설정에 따라 수동 또는 자동 모드로 작동 할 수 있습니다.