판매용 중고 GIGATECH TSA2000 #9278820
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GIGATECH TSA2000은 산업용으로 설계된 안정적이고 고급 etcher/asher 장비입니다. 유리, 석영, 도자기, 실리콘, 박막, 미립자, 복합 재료 등 다양한 대형 기판을 처리하는 데 적합합니다. 이 시스템은 금속, 합금 및 폴리머와 관련된 증착 과정에도 적합합니다. TSA2000 은 멀티 존 (Multi-Zone) 구성과 신속한 열 스위칭 기능을 갖추고 있어 전체 기판 전체에 걸쳐 빠르고, 심지어 열 분배를 가능하게 합니다. 이것은 에칭 및 애싱 프로세스의 균일성에 필수적입니다. 또한 전체 프로세스를 모니터링하고 관리할 수 있는 안정적이고 정확한 센서 피드백 (feedback) 을 통해 설계되었습니다. GIGATECH TSA2000 은 대용량 터치스크린 LCD 디스플레이를 통해 운영자가 모든 작업 단계를 직관적으로 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 사용자는 쉽게 매개변수를 조정하고 전체 프로세스를 모니터링할 수 있습니다. 기계 에는 가공 중 에 있는 기판 을 확대 하는 "카메라 '가 장착 되어 있어서, 작동 의 모든 단계 를 정확 히 제어 할 수 있다. TSA2000 의 고급 열 선반 장치 (Advanced Thermal Shelving Machine) 는 열 발열을 개선하고, 처리 중인 모든 물체에서 산화 또는 기타 온도 관련 손상이 발생하지 않도록 설계되었습니다. 이 도구는 열 보호 외에도 유체 역학적 에칭, 화학 에칭 (etching) 과 같은 기계적 스트레스에 대한 제어를 제공합니다. 또한 이중 할로겐 가스 타이트 밀봉 자산 (dual-halogen gas-tight sealing asset) 과 환기 공정 챔버 및 비활성 가스 대기 등 다양한 안전 기능을 제공합니다. GIGATECH TSA2000은 원활한 작동과 유연성을 위해 설계되었습니다. 또한 가열 카트리지 (heating cartridge), 자동 로드 시스템 (auto-loading system) 및 생산성을 극대화하기 위해 쉽게 업그레이드할 수 있는 기타 운영 구성 요소를 비롯한 다양한 프로세스 툴을 갖추고 있습니다. 에처/애셔는 또한 진공 기술로 인해 독특한, 저온 및 저압 증착 (LTD) 환경을 갖추고 있습니다. 이를 통해 500-1000 ° C 범위의 온도에서 정확한 에칭 및 애싱 작업이 가능합니다. TSA2000은 고정밀 에칭 및 애싱 (ashing) 프로세스가 필요한 산업 어플리케이션에 이상적인 선택입니다. 빠른 속도와 자동화를 위해 견고하고 안정적이며 설계되었습니다. 그것은 에칭 및 애싱 프로세스에 대한 비교할 수없는 정확성과 비교할 수없는 제어를 제공합니다.
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