판매용 중고 GIGALANE / MAXIS 300LCH #293672784
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GIGALANE/MAXIS 300LCH는 반도체 제조 응용 프로그램을 위해 설계된 고급형 etcher/asher 장비입니다. 이 "시스템 '은 전반적 인 반도체 제조 과정 에서 중요 한 요소 로서, 특히 반도체 장치 에 필요 한 복잡 한" 패턴' 과 구조 를 만들기 위하여 "웨이퍼 '에" 에칭' 과 "스트리핑 '을 한다. 맥시스 300LCH (MAXIS 300LCH) 는 최첨단 기술과 견고한 설계로 뛰어난 정확도와 신뢰성을 갖춘 고성능 성능을 제공합니다. 이 장치의 주요 특징 중 하나는 다용도 (versitility) 로, 다양한 프로세스 요구사항과 소재 (material) 를 손쉽게 처리할 수 있습니다. GIGALANE 300LCH의 중심에는 최첨단 플라즈마 소스와 제어 메커니즘이 장착 된 고급 공정 챔버 (advanced process chamber) 가 있습니다. 이 챔버 (chamber) 는 정확한 에칭 및 애싱 (ashing) 프로세스를 위해 안정적이고 균일한 플라즈마 환경을 만들도록 설계되어 전체 웨이퍼 표면에 일관된 결과를 제공합니다. 이 기계는 ICP (inductively coupled plasma), 다운 스트림 플라즈마 및 RIE (reactive ion etching) 와 같은 혁신적인 기술의 조합을 사용하여 높은 에치 속도, 탁월한 선택성 및 기본 재료에 대한 최소 손상을 달성합니다. 이러한 기술은 프로세스 매개변수 (parameter) 를 최적화하고 다양한 애플리케이션에 대해 탁월한 프로세스 제어를 제공하기 위해 원활하게 협력합니다. 또한 300LCH 는 고급 프로세스 (Advanced Process) 기능과 더불어 반도체 제조 라인에 원활하게 통합할 수 있는 매우 정교한 자동화 툴을 갖추고 있습니다. 이 자동화 자산은 프로세스를 간소화하고 인적 개입을 최소화함으로써 생산성을 높이고 주기 시간을 단축합니다. 또한 GIGALANE/MAXIS 300LCH는 직관적인 제어 기능 및 실시간 모니터링 기능을 갖춘 사용자에게 친숙한 인터페이스를 제공합니다. 이 인터페이스를 통해 운영자는 모델을 쉽게 프로그래밍하고 모니터링하고, 즉석에서 프로세스 매개변수를 조정하고, 문제를 효율적으로 해결할 수 있습니다. 이 장비는 또한 다양한 안전 기능 (Safety Features) 과 모니터링 센서 (Monitoring Sensor) 를 통합하여 운영자의 보호를 보장하고 잠재적 장비 손상을 방지합니다. 강력한 내장형 진단 프로그램과 함께 제공되는 이러한 안전 (safety) 기능은 시스템의 전반적인 안정성과 가동 시간에 기여합니다. 맥시스 300LCH (MAXIS 300LCH) 는 높은 처리량, 정확한 프로세스 제어, 뛰어난 반복성 등 반도체 업계의 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 반도체 업계를 선도하는 선도적인 디자인 (Innovative Design) 과 고급 기능 (Advanced Features) 을 통해 오늘날 경쟁력 있는 시장에 앞서고 싶은 반도체 제조업체들에게 이상적인 선택입니다. 전반적으로 GIGALANE 300LCH는 반도체 제조에서 성능, 안정성 및 프로세스 제어에 대한 새로운 표준을 설정하는 최첨단 etcher/asher 장치입니다. 최첨단 기술, 다양한 기능, 사용자 친화적 인터페이스 (User-Friendly Interface) 를 갖춘 이 머신은 반도체 제작 설비를 위한 귀중한 자산으로, 생산 프로세스의 우수성을 위해 노력하고 있습니다.
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