판매용 중고 GASONICS PEP Iridia #9293817

GASONICS PEP Iridia는 고전압 트랜지스터, 광전자 및 광전자 장치와 같은 고급 반도체 장치를 제조하는 데 사용되는 고정밀 에처/애셔입니다. 완전 자동화 된 400mm 플랫폼으로 제작되었으며 레이저 구동, 스캔 광학 및 이중 소스, 다중 가스, 화학 증기 증착 (CVD) 공정이 특징입니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 추가 에칭 단계가 필요하지 않고 모든 기판 유형에 대한 높은 필름 품질과 뛰어난 균일 성을 제공하는 새로운 비 산화 플라즈마 공정을 사용합니다. PEP Iridia에는 고급 in situ 옵티컬 모니터 장비를 포함하여 프로세스 제어 및 반복 가능성을 위한 여러 도구가 장착되어 있습니다. 적응 제어 시스템은 온도, 압력, 가스 흐름 속도, 에칭 속도와 같은 증착 매개변수를 자동으로 유지하여 변이 (variation) 및 반복 가능한 장치 구성 프로세스를 보장합니다. 또한, 내장 프로세스 모니터링 장치는 또한 일관된 전체 웨이퍼 균일성으로 정확한 웨이퍼 레벨 프로세스를 달성하는 데 도움이됩니다. GASONICS PEP Iridia에는 웨이퍼 로딩, 가져오기, 정렬 및 기타 기능을 수행하는 정교한 로봇 기계가 있습니다. 도금 된 두께, 균일성, 정밀도 및 선 무결성 측면에서 뛰어난 성능을 제공합니다. 이는 고급 반도체, 다중 계층 회로 및 고해상도 고해상도 포토 마스크 (photomask) 의 제작에 적합합니다. PEP 이리디아 (PEP Iridia) 는 또한 에칭 공정에서 최적의 가스 흐름을 허용하는 통합 가스 전달 패널을 갖추고 있습니다. 통합 컨트롤러는 가스 혼합물을 조정하여 프로세스 제어를 보장하고 열 관리를 최적화합니다. 또한 Dynamic Process Monitor (동적 프로세스 모니터) 를 통해 공구를 정확하게 모니터링할 수 있으며 실시간 프로세스 데이터 피드백을 제공합니다. GASONICS PEP Iridia는 가장 어려운 기판에서도 균일하고, 재현 가능하며, 고품질 결과를 생산하도록 설계된 고성능 에처/애셔입니다. 지능형 설계 및 사용자 친화적 인터페이스 (User-Friendly Interface) 는 다양한 반도체 애플리케이션에서 디바이스 개발 및 프로세스 최적화에 적합합니다.