판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS Strata #293760972

GASONICS/NOVELLUS Strata는 포토 마스크 에칭 프로세스를 위해 설계된 에처/애셔입니다. 에칭 패턴을 포토 마스크에 효율적이고 효과적으로 플레이하도록 설계되었습니다. 가소닉스 스트라타 (GASONICS Strata) 는 반도체 포토 마스크 생산에 사용되는 것을 포함하여 광범위한 에칭 프로세스를 갖춘 크고 강력한 장비입니다. 이 시스템은 다양한 프로세스 (process) 를 통해 패턴을 기판으로 가져올 수 있으며 매우 단단하고 복잡한 설계 (design) 기능을 가져올 수 있습니다. NOVELLUS Strata의 큰 크기와 넓은 챔버는 중간 마스크 및 큰 마스크에 이상적입니다. 복잡한 패턴을 기판에 도금할 수 있으며, 선 (line), 모양 (shapes), 슬롯 (slots) 등과 같은 주요 설계 요소를 정확하게 에칭하는 데 사용될 수 있습니다. 또한, Strata를 사용하여 기판에 작은 구멍을 드릴할 수 있습니다. GASONICS/NOVELLUS Strata의 단단한 패턴 제어는 매우 작은 기능을 에칭하고, 챔버 크기가 클수록 처리량이 증가합니다. GASONICS Strata는 매우 효율적인 프로세스 자동화 및 데이터 관리 소프트웨어를 갖춘 플랫폼을 기반으로합니다. 소프트웨어는 에칭 프로세스를 단순화하고 속도를 높입니다. 여러 기판에 대한 에칭 레시피 (etching recipe) 를 저장할 수 있으며, 다른 에칭 프로세스 및 재료에 적응하도록 장치를 구성할 수 있습니다. NOVELLUS Strata의 전력 및 성능은 듀얼 주파수 전원 공급 장치와 고유하고 맞춤형 펄싱에서 비롯됩니다. 이중 RF 주파수는 빠른 에칭 속도를 허용하며, 독점 펄싱은 에칭 속도를 변조하여 다른 기판의 복잡한 요구 사항을 충족시킵니다. Strata의 프로세스 자동화 및 제어 기계도 추가 이점을 제공합니다. 이 툴을 사용하면 여러 에칭 (etching) 프로세스를 동시에 실행할 수 있으며 다운타임을 최소화할 수 있습니다. 또한 GASONICS/NOVELLUS Strata는 뛰어난 해상도, 반복성 및 에칭 효율성을 제공하여 고품질 최종 제품을 제공합니다. GASONICS Strata는 포토 마스크의 정밀 에칭을 위해 설계된 신뢰할 수 있고 다재다능한 에처/애셔입니다. 강력한 기능과 효율적인 자동화를 통해 포토마스크 에칭 (etching) 에 이상적이며, 뛰어난 속도와 품질을 제공합니다.