판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS Sierra #9312059

GASONICS/NOVELLUS Sierra는 첨단 기능을 갖춘 최첨단 에처이자 애셔입니다. 이 장치에는 진공 챔버, 진공 노즐 및 균일 처리 플랫폼 (Uniform Processing Platform) 이 있어 소형 기판의 정확하고 제어 된 에칭 및 재싱이 가능합니다. 저온 증착 (LTD) 과정을 통해 매우 얇은 증착이 가능합니다. GASONICS Sierra (GASONICS Sierra) 는 IC (Integrated Circuit) 제작을위한 중요한 도구로서, 재료 층을 제거하거나 하나 이상의 얇은 재료 층을 증착할 수 있습니다. 그것 은 "플라즈마 '" 애셔' 와 건식 "에칭 '모두 가 가능 하며, 각 공정 은 서로 다른 용도 에 사용 된다. 가공 중인 특정 웨이퍼 기판 및 레이어 재료를 가장 잘 수용하도록 에찬트 (etchant) 를 선택할 수 있습니다. NOVELLUS Sierra는 높은 처리율을 특징으로하며 알루미늄, 폴리 실리콘, 실리콘 옥시 니트 라이드, 내화성 금속 등 모든 유형의 물질을 에칭하는 데 효과적입니다. 온도 범위가 넓어 다양한 에칭 프로세스가 가능합니다. 안정성이 높고 효율적이므로 최대 LER (line edge roughness) 및 CD (critical dimension) 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 고품질 IC 제작에 적합합니다. 시에라 (Sierra) 는 또한 큰 챔버 용량을 갖추고 있으며, 다수의 기판을 처리 할 수 있습니다. 대량의 재료를 빠르고 효율적으로 제거 할 수 있는 한편, 고도의 정밀도를 제공한다. & # 160; 기판을 효율적으로 전송하는 기능을 갖춘 GASONICS/NOVELLUS Sierra는 대량의 유연성을 제공하여 효율적이고 효과적인 재료 증착 및 제거를 지원합니다. GASONICS Sierra는 IC 제조를 위해 설계되었으며, 프로세스에는 얇은 레이어와 고해상도가 필요합니다. 탁월한 신뢰성, 성능, 유연성을 제공하여 IC 애플리케이션을 위한 이상적인 제품입니다.