판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS PS 10 #9192618

GASONICS/NOVELLUS PS 10은 반도체 제작 공정의 고급 증착 또는 에칭 공정을 위해 설계된 에처/애셔 장비입니다. 시스템은 두 가지 주요 단위로 구성됩니다. Spiral 400W 전원 공급 장치 및 LAM 9600 플라즈마 에처/애셔. 박막 (Thin Film), 선 (Line), 레이어 (Layers), 비아 (Vias) 와 같은 고품질 고정밀 회로 기능을 만들 수 있는 비용 효율적인 솔루션입니다. Spiral 400W 전원 공급 장치는 지능형, 자체 조정 출력 모듈, 제어 가능한 출력 단계 (etching and ashing 프로세스 중 균일 한 전류 및 전압 제공) 로 구성됩니다. 유연성 (Flexible) 을 갖도록 설계되었으며, 특정 프로세스의 조건과 요구 사항에 따라 사용자 정의할 수 있습니다. 또한, 이 모델은 사용자 친화적인 소프트웨어 인터페이스를 통해 활성화되는 고급 제어 기능도 제공합니다. 반면에 LAM 9600 플라즈마 에처/애셔 (plasma etcher/asher) 는 특히 고급 에치 및 애싱 공정을 위해 개발 된 고밀도 플라즈마 챔버와 통합되어 있습니다. 배치 모드에서 최대 20 개의 웨이퍼를 처리 할 수있는 4 인치 웨이퍼 로딩 장치 (wafer loading unit) 가 장착되어 있으며, 청결 및 공정 안전에 대한 업계 최고의 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 또한 높은 수준의 정밀도를 유지하면서 다양한 프로세스 기능 (예: 높은 처리량 에칭, 애싱) 을 제공합니다. 또한, GASONICS PS 10 기계는 연동 시스템 (Interlock System) 및 안전 프로세스 (Safety Process) 와 같은 다양한 안전 기능을 제공하여 위험한 온도를 안전하게 처리 할 수 있습니다. 이 도구는 질소 샤워 (nitrogen shower) 와 터보 분자 펌프 (turbomolecular pump) 를 사용하여 자산의 작동을 위해 깨끗하고 안전하며 안정적인 환경을 보장합니다. 그 외에도, 이 모델은 고급 진단 장치 (Advanced Diagnostics Equipment) 를 사용하여 시스템의 작업 및 성능에 영향을 줄 수 있는 이상을 감지하고 진단할 수 있습니다. 전반적으로, NOVELLUS PS 10 장치는 반도체 제작 과정에서 고급 증착 및 에칭 프로세스를 수행하는 효과적이고 신뢰할 수있는 솔루션입니다. 비용 효율적이며, 유연한 제어 기능을 제공하며, 안전하고 안정적인 작업 환경을 보장하는 데 도움이 되는 다양한 안전 (Safety) 기능을 제공합니다. 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스의 가장 어려운 결과로 일관되고 정확한 결과를 제공하는 데 의지 할 수 있습니다.