판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS PEP Iridia #9102816
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판매
ID: 9102816
빈티지: 2005
Poly etcher, parts machine
(2) Chambers
Cluster PC
(2) PCM PC
YASKAWA Robot
YASKAWA Robot controller
Main body
Missing parts
Cluster mini controller
Left PMSC mini controller
Left PGAS mini controller
Left PMWV mini controller
Left PEOP mini controller
Left lamp mini controller
Left temp controller
Left M/W generator
Left RF generator
Left RF matcher
Left RF matcher box
Left PUMP
Left chiller
Right PMSC mini controller
Right PGAS mini controller
Right PMWV mini controller
Right PEOP mini controller
Right lamp mini controller
Right temperature controller
Right M/W generator
Right RF generator
Right RF matcher
Right RF matcher box
Right pump
Right chiller
MFC Gas 1
BROOKS
6265C
CF4 100 SCCM
MFC Gas 2
BROOKS
6265C
N2 500 SCCM
MFC Gas 4
BROOKS
6265C (Right: S9Z84402)
H2 2SLPM
MFC Gas 5
BROOKS
6265C
NF3 20 SCCM
MFC Gas 8
BROOKS
6265C
O2 50 SCCM
Includes:
(2) Chillers
No pump
2005 vintage.
GASONICS/NOVELLUS PEP Iridia는 300mm 이하의 웨이퍼 처리를 위해 설계된 고급 에칭/애셔 장비입니다. photoresist 및 stripping, barrier layers, shallow trench isolation 및 III-V compound layer와 같은 광범위한 프로세스에서 사용할 수 있습니다. GASONICS PEP Iridia는 고급 에치 기술을 기반으로하며 듀얼 웨이퍼 로드 잠금 인터페이스를 갖춘 SGD (Synchronous Gas Delivery) 를 갖추고 있습니다. 이 로 말미암아 사용 된 화학 물질 을 정밀 하게 제어 할 수 있게 되어, 원하는 "에치 '종 을 매우 정확 하게 적용 할 수 있게 된다. NOVELLUS PEP IRIDIA (NOVELLUS PEP IRIDIA) 는 에친트 내 활성 종의 비율을 정확하게 제어하여 높은 생성물의 균일성과 개선 된 프로세스 사양을 가능하게합니다. 또한 모든 시스템 구성에서 상호 교환 가능한 프로세스를 허용하는 VFGE (Variable Frequency Gas Exchange) 도 특징입니다. PEP IRIDIA는 여러 웨이퍼 크기를 처리 할 수있는 완전 통합 에칭 장치입니다. 이 제품은 개별 Wafer 프로세스를 지원하는 소프트웨어와 함께 지속적인 Wafer 로드 및 언로드용으로 설계되었습니다. 이 기계는 공구에 연결된 다양한 고급 센서 (advanced sensor) 와 통합되어 프로세스를 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 이것은 에칭 프로세스의 정확성과 안정성을 증가시킵니다. NOVELLUS PEP Iridia는 또한 완전하게 자동화 된 열 프로파일 링 자산으로 향상된 온도 조절 및 정밀도를 제공합니다. 이것은 최신 PECVD 및 ICP 프로세스를 허용하는 매우 유연한 가스 제어 모델과 일치합니다. 전반적으로 PEP Iridia는 300mm 이하의 웨이퍼 처리를 위해 설계된 고급 에칭/애셔 장비입니다. 다양한 고급 기술 (Advanced Technology) 을 통해 에칭 프로세스 중 정밀도, 안정성, 정확성, 그리고 유연성과 사용자 정의가 가능한 다양한 소프트웨어를 제공합니다.
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