판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS PEP Iridia #122247

GASONICS/NOVELLUS PEP Iridia는 에칭 및 애싱 프로세스의 복잡성과 속도를 향상시키기 위해 GASONICS 및 NOVELLUS가 설계 한 전문 에치/애쉬 장비입니다. GASONICS PEP 이리디아 (PEP Iridia) 는 고급 레이저 제거 기술을 활용하여 마이크로 전자 산업에 사용되는 반도체 웨이퍼의 화학 마스킹 및 에칭을위한 효율적이고 다재다능한 솔루션을 제공합니다. NOVELLUS PEP IRIDIA (NOVELLUS PEP IRIDIA) 는 웨이퍼의 전체 표면적을 통해 고정밀 레이저 제복을 가능하게하는 다중 축 스캔 헤드를 특징으로합니다. 이 스캔 헤드 (scan head) 에는 화학 마스크를 대상으로 할 때 복잡한 모양/강도 조합 네트워크를 만들 수있는 구성 가능한 레이저 에미터 어레이가 포함되어 있습니다. 컴퓨터 제어 스캔 속도는 최대 300mm/s까지 도달 할 수 있으며, 맥박 너비는 1 ~ 300m입니다. 이 유연한 스캐닝 및 고속 작동은 그렇지 않으면 느린 화학 마스크 및 에치 (etch) 프로세스를 가속화합니다. 또한 PEP Iridia는 0-200 mJ/cm ^ 2 펄스의 조절 가능한 전원을 가진 레이저 소스를 사용하여 운영자가 필요에 따라 에치 및 애쉬 프로세스를 세밀하게 조정할 수 있습니다. 즉, 유연하게 조정하고 맞춤형으로 구성할 수 있어 애플리케이션 요구 사항에 맞게 완벽하게 조정할 수 있습니다 (영문). 또한, 이 시스템은 사용자 안전을 염두에두고 설계되었으며, 이중 안전 연동 (double safety interlock) 과 충격을 흡수하고 소멸시키는 데 도움이되는 새로운 생체 탄성 안전 레이어를 갖추고 있습니다. 전체 에치/애쉬 (etch/ash) 장치는 매우 자동화되고 구성 가능하여 설치와 작동이 용이합니다. GASONICS PEP IRIDIA는 GASONICS/NOVELLUS 및 GASONICS 소프트웨어와 함께 작동하여 복잡한 디자인 드로잉을 신속하게 입력 한 다음 etch/ash 레시피로 정확하게 번역 할 수 있습니다. 이 기계는 궁극적으로 효율적이고, 반복 가능하며, 신뢰할 수있는 화학 마스킹 및 에칭 프로세스를 뛰어난 정밀도로 가능하게합니다.