판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS PEP Iridia #122244

etcher/asher 인 GASONICS/NOVELLUS PEP Iridia는 고정밀 유전체 및 전도성 패턴을위한 전문 전기 화학, 나노 절연 시스템입니다. 이 제품은 복잡한 고성능 반도체 (HPD) 소자 구조를 개발하기 위한 완전 통합형 솔루션으로, 다양한 애플리케이션에 적합합니다. GASONICS PEP Iridia는 통합 제품 개발 및 제조에 완벽한 선택입니다. 고급 프로세스 모니터링 (Advanced Process Monitoring) 및 복잡한 정밀 제어 (Precision Control) 기능을 갖추고 있으며, 웨이퍼에 아무런 손상 없이 최대 40: 1의 높은 종횡비 구조를 달성 할 수 있습니다. NOVELLUS PEP IRIDIA (NOVELLUS PEP IRIDIA) 는 또한 전체 웨이퍼 전체에 걸쳐 뛰어난 균일성과 장점 품질을 갖춘 소형 16nm 크기의 구조를 생산할 수 있습니다. GASONICS PEP IRIDIA의 다른 기능에는 다음이 포함됩니다. 고급 시스템 자동화를 통해 생산성을 높이는 높은 처리량. 다양한 재료를 효율적으로 배치, 에칭하는 능력, 실리콘 카바이드 (Silicon Carbide), 실리콘 니트라이드 (Silicon Nitride) 및 실리콘 옥사이드 (Silicon Oxide) 의 높은 종횡비 패턴화를 포함한 유전체 및 전도성 재료를 포함하여 최대 500nm의 패턴 깊이를 가진 3D 에칭 구조를 생산하는 기능 프로세스 제어 능력을 향상시키기 위한 고급 모니터링 및 분석 기능 전체, NOVELLUS PEP Iridia는 매우 정밀한 반도체 장치 생산을위한 매우 정확하고 신뢰할 수있는 etcher/asher입니다. 이 기능은 매우 복잡하고 고성능 (HPD) 디바이스 구조의 생산에서 탁월한 정확성과 일관성을 보장합니다. 이 툴은 디바이스 제작에 가장 적합한 툴로, 신뢰성 있고, 정확하며, 기능성이 뛰어난 반도체 제품을 원하는 모든 제조업체에 적합한 솔루션입니다 (영문).