판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS PEP 4800DL Iridia #293595640

GASONICS/GASONICS/NOVELLUS PEP 4800DL Iridia는 매우 정밀 임계 계층 에칭 및 고속 처리를 위해 설계된 산업 에처/애셔입니다. 얕은 트렌치 에칭 (trench etching), 트렌치 투 트렌치 (trench-to-trench) 도금, 드라이 에칭 (dry etching) 및 백사이드 접촉 (backside contact etching) 과 같은 광범위한 고급 처리 요구 사항을 수행 할 수 있습니다. 이 기계는 고급 석판화 장비 (lithography equipment) 와 가스 전달 시스템 (gas delivery system) 을 사용하여 미크론 이하의 수준에서 높은 정밀도와 반복성으로 도전적인 구조를 만들 수 있습니다. 이 기계는 고유한 2 단계 판 회전 장치 (double stage plate rotation unit) 를 갖추고 있어 높은 일관성을 보장하며 에칭 (etched) 레이어와 재시 (ashed) 레이어를 모두 최적으로 배치할 수 있습니다. PEP 4800DL은 최대 8 인치의 기판을 처리 할 수 있습니다. (200mm) 직경과 최대 0.4 인치 (10mm) 두께. 습식 (wet) 과 건식 (dry) 에칭 공정을 모두 사용하여 매우 복잡한 장치를 생산할 수 있습니다. 표준 기능으로서, 기계는 강력하고 안정적인 DC/AC 플라즈마 소스를 갖추고 있으며, 항상 꾸준한 깃털을 제공합니다. 최대한의 유연성을 위해, 이 기계는 최대 24 개의 독립 프로세스 챔버 (independent process chamber) 를 장착 할 수 있으며, 다양한 화학 전구체 및 가스를 처리 할 수 있습니다. 첨단 통합 가스 전달 머신 (Advanced Integrated Gas Delivery Machine) 은 신뢰성이 높고 일관된 가스 흐름을 제공하여 모든 에칭 (Etching) 또는 애싱 (Ashing) 요구 사항에 맞는 완벽한 프로세스를 보장합니다. PEP 4800DL 은 완전히 자동화되어 있으며, 내장형 모니터 및 데이터 수집 툴을 갖추고 있어, 운영자의 개입을 제거하고 정확하고 재현이 가능한 결과를 제공합니다. 이 프로세스는 정교한 컴퓨터 제어 프로세스 사이클 (computer-controlled process cycle) 로 구성되며, 엔지니어가 프로세스 매개변수를 수정하고 프로세스를 최적화할 수 있습니다. 또한, 후처리 (after-treatment) 메커니즘 (옵션) 을 장착하여 처리 중 완벽한 완벽한 결함을 보장 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 NOVELLUS/GASONICS/NOVELLUS 애프터 마켓 프로세스 모니터링 및 분석 소프트웨어와 통합하여 처리 중 프로세스 제어 및 추적을 완료합니다.