판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS PEP 4800 #9352587

GASONICS/NOVELLUS PEP 4800은 정밀 어플리케이션을 위한 탁월한 성능을 제공하는, 고효율의 etcher/asher 장비입니다. 이 시스템은 병렬 처리 (Parallel Processing) 라는 개념을 기반으로 구축되어, 현재 사용 가능한 다른 여러 시스템에 비해 빠르고 효율적인 작업을 수행할 수 있습니다. GASONICS PEP 4800에는 MFT (Parallel Metallization Transfer) 기술을 사용하여 금속 필름을 기판에 입금하는 2 개의 고정밀, 저 프로파일링 챔버가 제공됩니다. 이를 통해 프로세스 전반에 걸쳐 기질의 깨끗함을 유지하면서 정확한 에칭 및 애싱 (ashing) 을 할 수 있습니다. 이 장치에는 독립적으로 제어되고 별도로 위치한 두 개의 플라즈마가 장착되어 있습니다. 프로세스 매개변수는 통합 PEP 제어 머신을 통해 쉽게 구성할 수 있습니다. 즉, 전체 공구 모니터링 및 제어 기능을 제공합니다. 탁월한 품질의 증착을 보장하기 위해 NOVELLUS PEP 4800은 고급 진단, 품질 점검 및 피드백 프로토콜을 사용합니다. 통합 프로세스 제어를 통해 사용자는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 또한 PEP 4800은 진공, 고출력 DC 전원 공급 장치, 종단점 감지 모델, 교체 가능한 기판 지원 장비를 갖추고 있어 효율적인 기판 제어 자산으로 설계되었습니다. GASONICS/NOVELLUS PEP 4800에는 활성 기판 냉각 및 자동 멀티 소스 가스 믹싱 시스템 (multi-source gas mixing system) 을 포함한 다양한 고급 기능이 장착되어 있습니다. "가스 '혼합 장치 는 휘발성 이 높은" 가스' 분자 의 일관성 있는 혼합물 을 보장 하기 위해 설계 되었으며, 고도 로 정확 한 "코우팅 '증착 과정 을 허용 한다. 또한 GASONICS PEP 4800은 안전한 작동을 보장하기 위해 고급 안전 기능으로 설계되었습니다. 여기에는 가스 타이트 챔버, 이중 비상 정지 스위치, 가스 차단 타이밍 및 통합 여과가있는 배기 기계가 포함됩니다. 전반적으로 NOVELLUS PEP 4800은 정확한 에칭 및 애싱 응용 프로그램에 이상적인 솔루션입니다. 이 도구는 정확하고 고품질 결과와 결합된 고성능 효율성을 제공합니다. 안전성과 안정성을 보장하는 "안전성 강화 (Advanced Safety Measures in Place) '를 통해 안전하고 안정적인 운영 환경을 확보할 수 있습니다. 피피 4800 (PEP 4800) 은 복잡한 장치 아키텍처를 에칭 및 세척하기 위한 종합적인 솔루션의 일부이므로, 현대 반도체 산업에는 귀중한 도구입니다.