판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS PEP 3510A #9170813

GASONICS/NOVELLUS PEP 3510A는 반도체 산업의 대용량 칩 제조 응용 분야를위한 에칭 및 애싱 장비 디자인입니다. 최신 IC (Integrated Circuit) 설계의 패턴 전송 및 장치 제작에 사용됩니다. 이 시스템에는 다양한 재료에 대한 효율적인 에치/애쉬 (etch/ash) 프로세스를 지원하는 6 채널 병렬 처리 아키텍처가 있어 대용량 생산에 이상적입니다. 이 장치는 또한 엄격한 프로세스 통합을 갖추고 있으며 다른 GASONICS 장비와 쉽게 통합 할 수 있습니다. 이 기계는 로봇 로딩 도크 및 언로드 도크, 메인프레임 프로세서, 진공 챔버, 다수의 피스톤 및 진공 펌프로 구성됩니다. "로봇 '부두 는 관절 로 된 팔 을 사용 하여" 카세트' 대기권 으로부터 "에치 챔버 '로" 웨이퍼' 를 이동 시킨다. 메인프레임 프로세서는 etch 매개 변수를 정확하게 제어할 수 있습니다. 진공실 은 "에칭 '과" 애싱' 과정 중 에 "웨이퍼 '를 들고 있으며, 피스톤' 과 진공" 펌프 '는 방 의 압력 을 움직 이고 조절 하고 유지 하는 데 사용 된다. 이 도구는 실리콘 웨이퍼, 알루미늄, 구리, 텅스텐 등을 포함한 다양한 재료를 에칭하고 세척 할 수 있습니다. 단일 챔버에서 시간당 최대 4500 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 자산에는 다양한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 매개변수가 있으며, 이를 준수하도록 프로그래밍되어 정확성과 반복성이 향상됩니다. 이 모델은 혁신적인 안전 및 오염 제어 기능으로 무장합니다. "와퍼 '" 카세트' 는 이동 과정 중 에 장비 로부터 분리 되어 오염 이나 손상 의 가능성 을 감소 시킨다. 이 시스템에는 또한 웨이퍼 습도 센서, 적절한 웨이퍼 로딩 및 언로드를 보장하는 정전기 척, 미립자 및 증기 오염을 최소화하는 고효율 필터가 포함되어 있습니다. GASONICS PEP 3510A (Gasonics PEP 3510A) 는 강력하고 신뢰할 수있는 에칭 및 애싱 장치로서, 반도체 산업의 대용량 웨이퍼 처리 요구를 위해 설계되었습니다. 고성능 기능, 견고한 프로세스 통합, 혁신적인 안전 (Safety) 기능을 갖춘 이 제품은 정확하고 반복 가능한 패턴 전송이 필요한 칩 제작 작업에 적합합니다.