판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS PEP 3510A #9146556
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ID: 9146556
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1997
Asher, 8"
Machine hours: 29389
Cassette interface:
(2) ASYST Integrated SMIF
Wafer handler: Dual blade
Model: XU-RCM4700 rev 3
Left module:
Model: PEP 3510A (L)
Configuration: 95-0481
Power: 208 V, 60 Hz, 30 A, 1 Phase / WYE
Source / Process kit type: Quartz
Platen type: Standard
Power supplies: MWave PS: Astex OEM C13170 (1250W)
Hours: 34260.9
Left module gas configuration:
Gas Flow (sccm) MFC Mfgr MFC Model
O2 4000 BROOKS 5964
N2 200 BROOKS 5964
N2H2 4000 BROOKS 5964
Right module:
Model: PEP 3510A (R)
Configuration: 95-0482
Power: 208 V, 60 Hz, 30 A, 1 Phase / WYE
Source / Process kit type: Quartz
Platen type: Standard
Power supplies: MWave PS: Astex OEM C13170 (1250W)
Hours: 16547.1
Right module gas configuration:
Gas Flow (sccm) MFC Mfgr MFC Model
O2 4000 BROOKS 5964
N2 200 BROOKS 5964
N2H2 4000 BROOKS 5964
Power: 208 V, 60 Hz, 150 A, 1 Phase / WYE
1997 vintage.
GASONICS/NOVELLUS PEP 3510A는 다양한 응용 프로그램에서 사용하도록 설계된 고정밀 etcher/asher입니다. 이 기계 는 "마이크로일렉트로닉 '및" 옵토일렉트로닉' 제조 에 있어서 우리 에게 매우 정밀성 과 반복성 을 지닌 여러 가지 물질 을 정확 하게 에칭 하거나 "애셔 '할 수 있다. GASONICS PEP 3510A는 고급 소프트웨어 기반 모터 구동 제어 시스템을 갖추고 있으며, 이를 통해 챔버 압력, 반응 시간, 온도 등 다양한 에칭 또는 애싱 매개변수를 프로그래밍할 수 있습니다. 이를 통해 대상 재료의 빠르고 정확한 에칭 또는 재싱이 가능합니다. NOVELLUS PEP 3510A는 또한 진공 환경에서 유지되는 2 개의 별개의 챔버를 갖추고 있습니다. 각 챔버에는 개별적으로 제어되는 RF 전원 공급 장치가 있으며, 필요에 따라 에칭 (etching) 또는 애싱 (ashing) 을 구성할 수 있습니다. PEP 3510A는 인터록 시스템, 차단 밸브, 압력 게이지 등 여러 가지 안전 기능도 제공합니다. 이러 한 안전 기능 은 "에치 '나" 애쉬' 가 최고 의 품질 이며 기계 의 환경 이 항상 안전 하고 정확 하게 유지 되도록 설계 되었다. GASONICS/NOVELLUS PEP 3510A는 알루미늄, 실리콘, 갈륨 비소, 인화 인듐 및 기타 고성능 재료를 포함하여 다양한 재료를 에칭 또는 분쇄 할 수있는 매우 다양한 기계입니다. 이것은 고정밀 제조 응용 프로그램에 사용하기 이상적인 기계입니다. GASONICS PEP 3510A는 에칭 및 애싱 기능 외에도 에치 후 (post-etch) 또는 애싱 클리닝에 사용될 수있는 내장 플라즈마 소스를 갖추고 있습니다. 플라즈마 소스는 드라이 플라즈마 클리닝 및 습식 플라즈마 클리닝에 모두 조정이 가능합니다. 이것은 에칭 또는 애싱 후 깨끗하고 손상되지 않은 마무리를 제공하는 데 도움이됩니다. 마지막으로 NOVELLUS PEP 3510A는 매우 효율적인 기계입니다. 독보적인 설계와 고급 소프트웨어 제어 모터 드라이브 (Software-Controlled Motor Drive) 는 고성능 및 빠른 주기를 제공합니다. 또한, 기계의 컨트롤은 간단하고 사용하기 쉽습니다. 따라서 사용자는 에칭 (etching) 및 어싱 (ashing) 프로세스를 빠르고 정확하게 설정, 프로그래밍 및 실행할 수 있습니다.
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