판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS PEP 3510 #9312374

GASONICS/NOVELLUS PEP 3510은 반도체 장치 제조에 사용되는 에칭 및 애싱 장비입니다. 가장 인기있는 두 가지 공정 기술 (플라즈마 에치 (plasma etch) 와 스트립 애쉬 (strip ash)) 을 결합한 하이엔드 시스템입니다. 처리량이 높으며, 에치 (etch) 및 애쉬 (ash) 공정 모두에서 공정 통합이 가능합니다. GASONICS PEP 3510은 주 제어 모듈, 진공 장치 및 공정 챔버로 구성됩니다. NOVELLUS PEP 3510에는 컴퓨터 제어 시스템을 통해 사용자 정의 레시피 설정이 가능한 사용자 인터페이스가 있습니다. 진공 도구 (vacuum tool) 는 공정 챔버의 압력을 제어하고 진공 작동을 하며, 주 제어 모듈 (main control module) 은 모든 공정 기능을 완벽하게 제어합니다. PEP 3510은 플라즈마 에치 프로세스 (plasma etch process) 를 사용하여 기존 에칭 기술보다 선택성과 에치 속도가 높습니다. "플라즈마 '" 에치' 공정 은 "에치 '마스크' 에 적재 하는 크기 를 줄여 더 높은 수율 을 내고 오염 가능성 을 감소 시킨다. 에치 (etch) 프로세스는 에치 방향을 독립적으로 제어하는 기능을 통해 단일 방향 (single direction) 또는 이중 방향 (dual-direction) 으로 수행 할 수 있습니다. GASONICS/NOVELLUS PEP 3510은 또한 재 챔버 (ash chamber) 를 사용하여 웨이퍼에서 산화물 층을 벗기는 스트립 애쉬 프로세스를 제공합니다. 습식 스트리핑 공정보다 더 효율적인 드라이 스트리핑 공정입니다. 애쉬 챔버 (ash chamber) 는 단일 단계 또는 다중 단계 모드로 작동하여 매우 통합된 프로세스 단계를 수행할 수 있습니다. 또한 GASONICS PEP 3510에는 etch 및 ash 프로세스를 개선하기위한 다양한 고급 프로세스 기술이 포함되어 있습니다. 여기에는 고급 웨이퍼 처리 시스템, 자동 웨이퍼 및 샘플 로딩 시스템, 높은 처리 속도를위한 극저온 전달, 고급 레시피 개발을위한 전용 도구 소프트웨어가 포함됩니다. 전반적으로 NOVELLUS PEP 3510은 효율적인 프로세스 통합을 통해 높은 수율을 제공하는 신뢰할 수있는 에칭 및 애싱 에셋입니다. 첨단 공정 기술과 견고성 (robustness) 이 결합되어 반도체 소자 제조에 적합합니다.