판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS PEP 3510 #9195885

GASONICS/NOVELLUS PEP 3510 etcher/asher는 고급 마이크로 세공 프로세스에 사용되는 고성능 플라즈마 에칭 및 애싱 장비입니다. 이 제품은 실리콘 기반 박막 (Thin Film) 레이어의 에칭 및 재싱을 위한 비용 효율적이고 경제적인 솔루션으로 설계되었습니다. GASONICS PEP 3510은 특허를받은 공동 흐름 쇼어 헤드 디자인, 다중 계층 차폐 및 기타 고급 에칭 기술을 결합하여 매우 정밀하고 고정밀 에칭 프로세스를 제공합니다. 이 시스템은 오염을 최소화하면서 매우 얇은 에치를 달성 할 수 있습니다. NOVELLUS PEP 3510은 특허를받은 공동 흐름 샤워 헤드 노즐을 사용하여 에찬트와 커플 런트 증기를 8 개의 사분면으로 나눕니다. 이것은 미세 에칭 왜곡 또는 무효화없이 균일하고 정확한 에치 프로세스를 만듭니다. PEP 3510은 공정 제어를 개선하기 위해 에찬트와 커플 랜트를 구별하는 특허를받은 다층 차폐 장치 (multilayer shielding unit) 를 갖추고 있습니다. 기계는 etch 프로세스에 열적으로 분리 된 환경을 제공하여 micro-etch 왜곡을 최소화합니다. GASONICS/NOVELLUS PEP 3510은 매우 빠르고 경제적인 도구입니다. 분당 최대 30 미크론의 에치 속도를 달성 할 수 있습니다. 많은 수의 기판을 동시에 처리할 수 있으며, 다양한 공급업체를 수용할 수 있습니다 (영문). 자산은 유니버설 에칭 레시피 (universal etching recipe) 를 사용하며 여러 가스와 호환되므로 프로세스 복잡성과 시간이 줄어듭니다. GASONICS PEP 3510은 다양한 추가 기능을 제공하여 최고의 제품 품질을 보장합니다. 전력변동을 방지하고 안정적인 에치 (etch) 환경을 제공하는 이중 주파수 분산 전원 공급 장치를 사용합니다. NOVELLUS PEP 3510은 또한 프로그래밍 가능한 제품 리프트 오프 및 레시피 최적화를 통해 프로세스 매개 변수를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 마지막으로, 원격 모니터링, 긴급 차단 스위치, 필터링 배기 (filtered exhaust) 모델 등 다양한 안전 기능을 제공하여 운영자의 건강 및 안전을 보장합니다. 전반적으로 PEP 3510 etcher/asher는 고급 마이크로 세공 프로세스에 적합한 선택입니다. 이 제품은 오염을 최소화하면서 박막 층을 에치 (etch) 하고, 에치 (ech) 하고, 빠르게, 경제적으로 효율적으로 만들 수 있는 방법을 제공합니다. 첨단 기술, 혁신적인 기능, 안전 측정 (Safety Measure) 의 조합으로 실리콘 기반 박막 레이어의 에칭 및 재싱에 이상적인 선택이되었습니다.