판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS PEP 3510 #9195884

GASONICS/NOVELLUS PEP 3510은 다양한 산업 환경에서 사용할 수있는 고속 플라즈마 에치 및 애쉬 도구입니다. 이 장비는 업계 표준 장비와 프로세스를 활용하여 높은 수준의 프로세스 정확도를 제공합니다. GASONICS PEP 3510 의 첨단 정밀도 및 성능은 MEMS 및 RF 장치와 같은 미션 크리티컬하고 섬세한 작업에 이상적입니다. 여기서 Tight Tolerances 는 필수입니다. NOVELLUS PEP 3510 (NOVELLUS PEP 3510) 은 에치 (etch) 및 애쉬 (ash) 기능을 모두 갖춘 다기능을 제공하여 별도의 공구 변경 없이 두 모드 사이를 전환할 수 있습니다. 따라서 많은 비용이 소요되고 많은 시간이 소요되는 툴을 재구성할 필요 없이 프로세스 간에, 제조업체가 신속하고 쉽게 전환할 수 있습니다. 또한 PEP 3510 에는 시스템 전체의 온도가 균일하게 유지되므로 최적의 프로세스 결과를 얻을 수 있습니다. GASONICS/NOVELLUS PEP 3510 (GASONICS/NOVELLUS PEP 3510) 의 획기적인 설계는 특허를받은 가스 전달 장치와 가공 진공 챔버를 결합하여 정확성과 반복성이 향상된 최적의 플라즈마 에처 (plasma etcher) 를 생성합니다. 이러한 고급 기술을 통해 도구는 +/-2um (+/-2um) 의 에칭 균일성 (etching unifority) 등급을 제공하여 주변 환경에 관계없이 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. GASONICS PEP 3510에는 시간 소모적인 수동 청소를 방지하는 통합 챔버 청소 기능도 포함되어 있습니다. NOVELLUS PEP 3510 (NOVELLUS PEP 3510) 은 각 개별 애플리케이션에 맞게 조정할 수 있는 고급 프로세스 모니터링 옵션을 제공합니다. 프로세스 흐름의 실시간 디스플레이 (Real-time display) 와 짧은 주기 시간 (Short Cycle time) 을 통해 에치 작업을 더욱 효율적이고 안정적으로 수행할 수 있습니다. 이 기계는 또한 비상 차단 스위치, 챔버 소화 도구, 빠른 압력 완화 밸브 및 비상 정지 기능이있는 고급 안전 시스템을 갖추고 있습니다. PEP 3510 (PEP 3510) 은 매우 효과적인 에처 (etcher) 및 애셔 (asher) 로, 고속 에치 및 애쉬 기능, 보드 크기와 기판에 걸친 뛰어난 프로세스 균일성 등 동적 기능을 제공합니다. 이 자산은 복잡한 패턴과 모양을 다양한 재료에 에칭 (etching) 할 수 있으며, 가장 까다로운 업계 요구 사항도 충족할 수 있는 반복성과 정확성을 갖추고 있습니다. 고급 안전 시스템 (Safety Systems) 과 통합 챔버 클리닝 기능은 추가 편의성 및 프로세스 제어를 제공합니다. GASONICS/NOVELLUS PEP 3510 (GASONICS/NOVELLUS PEP 3510) 은 에칭 및 애싱 요구 사항에 대한 높은 수준의 성능과 신뢰성을 추구하는 다양한 기업에 이상적인 솔루션입니다.