판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS PEP 3510 #293587292

GASONICS/NOVELLUS PEP 3510은 최첨단 에처/애셔입니다. 이 챔버는 생산 환경에 사용하도록 설계되었으며 구성에 따라 최대 5 개의 공정 챔버 (process chamber) 와 1 개 또는 2 개의 사전 청소 챔버 (pre-clean chamber) 를 보유합니다. 이 고급 도구는 단일 웨이퍼 (wafer) 와 여러 웨이퍼의 일괄 처리 (batch processing) 를 실행할 수 있습니다. GASONICS PEP 3510은 정밀 이온 임플란테이션을 허용하는 Iontek 업그레이드를 특징으로합니다. 소스 회전 방어 장비가있는 교환 가능한 소스 챔버 (source chamber) 와 이식 균일 성을 측정하는 7x10 힘 센서 (force sensor) 가 있습니다. 기판 지지실 에는 "엘리베이터 '가 통합 되어 기판 위 의 오염 과 열 구배 를 방지 하는 데 도움 이 된다. 가스전달시스템 (Gas Delivery System) 은 깨끗하고 안정적인 환경을 유지하는 전자밸브 연결 단위와 압력 제어 (Pressure Control) 를 통해 최대 4 가지의 가스믹스를 제공할 수 있습니다. 챔버에는 고급 온도 조절 및 냉각기가 있습니다. 온도가 0 ~ 600C 인 온도 조절 환경을 제공하는 내장 칠러 (chiller) 와 용광로 (furnace) 가 포함됩니다. 챔버의 온도는 GASONICS ThermalVision Tool에 의해 모니터링됩니다. 단단한 진공 봉인을 보장하기 위해 NOVELLUS PEP 3510에는 2 개의 견고한 게이트 밸브가 표준으로 제공됩니다. 첫 번째 "밸브 '는 전압 투입 을 조절 하고 두 번째" 밸브' 는 구체적 으로 조밀 한 진공 환경 을 유지 한다. 또한 PEP 3510에는 오염 및 증착에 대한 추가 안전을 제공하기 위해 고성능 개인 가스 센서 및 검출기가 있습니다. 챔버에는 고급 3 방향 자동 플라즈마 전력 제어 자산 및 우수한 플라즈마 소스가 제공됩니다. 이를 통해 에칭을 보다 효율적으로 제어하여 반복 가능한 결함이 없는 처리를 보장할 수 있습니다. 또한, 이 도구는 임피던스 로봇 공학 (impedance robotics) 을 갖춘 프로그래밍 가능한 에지 성공 (edge success) 모델을 가지고 있으므로 에칭의 에지 프로파일을 쉽게 조정할 수 있습니다. 깨끗한 처리 환경을 보장하기 위해 GASONICS/NOVELLUS PEP 3510에는 강력한 NOVELLUS Pulse-O-Mizer 장비가 장착되어 있습니다. 이 시스템은 입자 제거를위한 매우 낮은 에너지 플라즈마 (plasma) 의 버스트를 만들어 안정적이고 입자가 없는 운영 환경을 만들 수 있습니다. 전반적으로 GASONICS PEP 3510은 뛰어난 에처/애셔입니다. 정밀 에칭 (precision etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 실행하는 데 필요한 모든 기능과 안전한 작업 환경을 보장하는 추가 안전 (safety) 기능을 갖춘 효과적인 설계를 갖추고 있습니다.