판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS PEP 3510 Plus #293794156

GASONICS/NOVELLUS PEP 3510 Plus는 다목적 에칭 및 애싱 장비입니다. 고도로 자동화되고, 유연하며, 사용하기 쉬운 시스템으로 기판을 확산, 임플란트, 에치 및 처리합니다. 최대 4 개의 소스 카세트에서 기판을 지속적으로 로드하는 완전 자동 기판 교환 장치 (full automatic substrate exchange unit) 를 갖춘 스테이지가 있습니다. 기계는 asher 및 etcher 모드, 챔버 구성 및 기판 직경을 다양화하여 최대의 유연성을 제공합니다. 또한 이 도구를 통해 빠른 로드 사이클 시간을 허용하여 다운타임을 줄일 수 있습니다. 자산에는 고온 에칭 챔버와 애셔 챔버도 제공됩니다. 큰 Monochloro-Silane 노즐은 에칭 및 애싱 중에 저온 균일 한 반응성 가스를 공급하는 데 사용됩니다. "노즐 '은 전체 기판 에 균일 한" 가스' 분포 를 할 수 있는 조정 가능 "가스 '전달" 모델' 을 갖추고 있다. GASONICS PEP 3510 Plus에는 프로세스 제어 정확도가 높은 직접 드라이브 제어 장비도 있습니다. 이 시스템은 또한 기판 왜곡 및 진동을 줄이기 위해 설계된 전방향 웨이퍼 동작 제어 장치 (omnidirectional wafer motion control unit) 를 갖추고 있습니다. 모듈식 머신 (modular machine) 을 사용하면 메모리에서 저장 및 검색할 수 있는 광범위한 프로세스 레시피를 사용할 수 있습니다. 사용자는 etching, ashing 및 기타 프런트엔드 또는 백엔드 프로세스 단계를 위한 레시피를 만들 수 있습니다. 또한 이 도구에는 특수 프로세스에 대한 에셋을 프로그래밍할 수 있는 CAPE (Computer Aided Process Engineering) 소프트웨어 패키지가 포함되어 있습니다. 이 모델은 높은 처리량, 낮은 입자 충돌, 낮은 전력 소비를 제공하도록 설계되었습니다. 또한 저진공 또는 고압 환경에서 작동하도록 설계되어 웨이퍼 제작, 반도체 장치 제작, 디스크 드라이브 제작, MEM 제조 등 다양한 애플리케이션에 적합합니다. NOVELLUS PEP 3510 Plus는 실험실 또는 생산 환경에 이상적인 장비입니다. 안정성, 내구성, 비용 효율성을 제공하는 고품질 구성 요소 세트로 구성되어 있습니다.