판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS Iridia #293659761

GASONICS/NOVELLUS Iridia는 반도체 제조 산업에 사용되는 고급 에칭 및 애싱 장비입니다. 반도체 칩 생산에 사용되는 포토레시스트 (photoresist), 금속 (metal) 및 기타 재료의 고정밀 처리를 제공하는 완전 자동화 시스템이다. 이 장치는 멀티모드 플라즈마 에칭 (Plasma Etching) 및 CVD 프로세스를위한 업계의 최신 기술을 통합하여 모든 수준의 칩 개발에서 복잡한 패턴과 더 엄격한 차원 공차를 더 빠르게 처리 할 수 있습니다. GASONICS Iridia 기계는 반도체 칩 생산량을 극대화하고 처리량을 증가시키는 많은 혁신을 특징으로합니다. 단일 소스 에치/애쉬 (etch/ash) 프로세스를 사용하여 한 시스템에 키 에치 (etch) 및 증착 프로세스를 통합하여 다중 단계 처리에 필요한 비용이 많이 드는 설정 변경을 줄입니다. 또한 프로세스 제어를 극대화하고 공구 가동 시간을 향상시키는 실시간 디지털 피드백 (feedback) 과 자동 로드 챔버 밸런스 (Auto Load Chamber Balance) 기능과 고급 기능 제어를 위한 향상된 웨이퍼 균일성 (Wafer Unifority) 을 갖춘 직접 샘플링 내부 진단 도구를 갖추고 있습니다. NOVELLUS Iridia 자산은 기능 해상도 및 선택성을 최적화하기 위해 여러 가지 에칭 구성을 제공합니다. 자동화된 시스템은 장치 구조를 정제하기 위한 프로세스 최적화 및 빠른 램프 업 (ram-up) 시간을 제공하며, 로드 록 (loadlock) 모델 (옵션) 은 프로세스 안정성 및 처리량 향상을 위해 빠른 기판 도입 및 제거를 제공합니다. 이 장비는 또한 기판 구성 및 로딩을 사용자 정의할 수 있게 해 주며, 사용자는 운영 유연성을 극대화하고, 시스템을 개별 요구에 맞게 조정할 수 있습니다. 이리디아 (Iridia) 는 최적의 안정성, 처리량 및 다용성을 위해 설계되었으며, 반도체 제조업체가 박막 기술의 경계를 넓힐 수있는 힘을 제공합니다. 이 장치는 가장 까다로운 반도체 환경에서 복잡한 3 차원 구조와 서브 미크론 기하학을 처리 할 수있는 기능을 제공합니다. 이 모든 것은 수율을 높이고 프로세스 안정성을 향상시켜, 더 짧은 실행으로 고품질 칩을 생산할 수 있도록 도와줍니다 (영문).