판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS PEP 3510 Iridia #293658056
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ID: 293658056
웨이퍼 크기: 8"
Asher, 8"
Dual chamber
Component configuration:
Cassette unit:
Cluster PCM
YASKAYA XU-CM 4730 Robot controller
Chamber unit:
(2) Lift and right PCM
(2) MISC Controllers
(2) Gas controllers
(2) M/W Controllers
(2) Lamp controllers
(2) EUROTHREM 818S Temperature controllers
(2) NIKON M680 Temperature controllers
ASTEK D13765 M/W Generator (Right side)
(2) ENI ACG-6B RF Generators
(2) MKS MWH-5 RF Matchers
(2) MKS MWH-R RF Matcher boxes
(2) MKS 600 Series Pressure controllers
(2) MKS 638B-2-50-2 Pressure valves.
Gas supply:
Gas name / Range / Size
CF4 / 200 mm / 1/4" VAC
N2 / 500 mm / 1/4" VAC
O2 / 500 mm / 1/4" VAC
HE / 2 SLPM / 1/4" VAC
NF3 / 20 CC / 1/4" VAC
O2 / 50 SCCM / 1/4" VAC
Purge N2 / - / 1/4" VAC
Utility description:
(4) QC6 Connectors
(2) ISO 80 Chambers
(2) 3/8" SWG Male chambers
Misssing parts:
YASKAYA XU-RCM 4700
ASTEK D13765 M/W Generator (Left side)
Power supply: 208 V, 5-Wire, 150 A, 50/60 Hz, 3 Phase.
GASONICS/NOVELLUS PEP 3510 Iridia는 고급 반도체 응용 프로그램을 위해 설계된 고급 에처/애셔 장비입니다. 180 와트 DC 플라즈마 소스가 장착 된 PECVD (Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition) 시스템입니다. 소스 전원 제어 장치 (0-180 와트에서 0.1 와트 단위로) 를 장착하여 에칭/애싱 프로세스를 정확하게 제어할 수 있습니다. 또한 기계는 분당 5-1000 회전 (rpm) 의 기판 회전 기능을 가지며 CCD 카메라에 의해 정확한 기판 위치를 제어합니다. GASONICS PEP 3510 Iridia는 에칭과 재싱을 위해 최대 2 ~ 4 개의 가스를 사용하는 쿼츠 에칭/애싱 챔버로 설계되었습니다. 석영은 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스가 공정 중에 분해 될 수있는 금속 (metal) 과 같은 오염 물질에 의해 오염되지 않도록 보장합니다. NOVELLUS PEP 3510 이리 디아 (Iridia) 에는 가스 전달 장치가 있으며, 이를 통해 다양한 가스 혼합물을 에칭/애싱 챔버에 전달 할 수 있습니다. 이렇게 하면 에칭 (etching) 및 어싱 (ashing) 프로세스를 제어하는 게이트 밸브의 열기 및 닫기 시간을 세밀하게 조정할 수 있습니다. PEP 3510 Iridia는 90도 각도와 최대 200W 전력을 가진 고순도 이온 소스를 가지고 있습니다. 그것 은 다양한 "이온 '과" 라디칼' 을 생산 할 수 있으며, 그것 은 "에칭 '과" 애싱' 에 사용 될 수 있다. GASONICS/NOVELLUS PEP 3510 Iridia에는 다중 레벨 가스 제어 머신이 있으며, 정확한 수준의 에칭/애싱이 가능하며 에칭/애싱 지속 시간, 압력, 온도 및 유량과 같은 광범위한 프로세스 매개 변수를 설정할 수 있습니다. 마지막으로, GASONICS PEP 3510 Iridia에는 플라즈마 모니터가 장착되어 있으며 가스 농도를 실시간으로 측정 할 수 있습니다. 또한 모니터를 사용하면 최적의 프로세스 조건을 보장하기 위해 플라즈마 파를 실시간으로 볼 수 있습니다 (영문). 결론적으로, NOVELLUS PEP 3510 Iridia는 고급 반도체 재료의 정확하고, 통제 된 에칭 및 해시를 위해 설계된 고급 에처/애셔 도구입니다. 고급 기능을 통해 사용자는 프로세스 매개변수 (process parameter) 를 제어하고 프로세스를 실시간으로 모니터링할 수 있으므로 에칭/어싱 (etching/ashing) 작업에 이상적인 툴이 됩니다.
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