판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS PEP 3500 #9202560

GASONICS/NOVELLUS PEP 3500은 직경이 최대 6 인치인 기질의 뛰어난 성능과 프로세스 유연성을 제공하는 최첨단 에처/애셔입니다. 단일 단계에서 알루미나 또는 석영 PETR로 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. GASONICS PEP 3500은 낮은 챔버 가스 흐름 설계를 특징으로하며, 복잡한 구조뿐만 아니라 미세한 점과 간격 채우기로 확장 된 런을 가능하게합니다. 보다 엄격한 프로세스 제어를 위해 전자 빔 건을 독립적으로 제어했습니다. 각 총은 최대 500 와트의 전력을 프로그래밍 할 수 있으며 분당 최대 40 인치의 속도로 기판 위로 이동 할 수 있습니다. 빔 건 (beam gun) 은 소스 선택의 유연성을 제공하는 모듈 식, 풀 필드, 자화 된 소스 홀더에 통합되어 광범위한 재료 에칭 및 애싱 (ashing) 요구 사항을 허용합니다. 최적화 된 압력 제어 시스템은 처리 중 우수한 기본 압력 수준을 유지합니다. 안전성 향상을 위해, 전체 챔버는 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며 산업 환경에서 장기적인 운영을 위해 설계되었습니다. 이 시스템은 또한 열 증강 (heat buildup) 을 방지하고 처리 중 기판을 보호하는 냉각 시스템을 갖추고 있습니다. NOVELLUS PEP 3500은 다단계 보안 조치를 갖추고 있으며, 안전 분석 및/또는 직업 건강 및 안전 관리 시스템의 요구 사항을 준수합니다. 또한, 온보드, 고속 유지 관리 스케줄러를 통해 사전 예방적 유지 관리 조치를 수행할 수 있습니다. 전체적으로 PEP 3500 etcher/asher는 탁월한 성능과 프로세스 유연성을 제공하여 모든 반도체 에칭 어플리케이션에 이상적인 선택입니다.