판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS PEP 3010A #293824582
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GASONICS/NOVELLUS PEP 3010A는 순회 보드 및 반도체 부품에서 복잡한 모양의 제작을 달성하기 위해 시퀀싱 된 물리 및 화학 공정 세트를 사용하는 에처 (etcher) 및 애셔 (asher) 장비입니다. 표적 영역에 중점을 둔 질소-산소 혼합물 (nitrogen-oxygen mixture) 의 고해상도 플라즈마 빔을 갖추고 있으며, 원하는 패턴의 높은 정밀 영상을 제공합니다. 이 시스템은 업계 표준보다 최대 3 배 높은 0.02 "m '까지 정밀하게 반복 가능하고 반복 가능한 프로세스를 달성 할 수 있습니다. GASONICS PEP 3010A는 stepper lithography, dry etching, sputter deposition, focalized ion 및 plasmaImplanted ion beam과 같은 다양한 서브 미크론 프로세스에 대해 구성 될 수 있습니다. 또한, NOVELLUS PEP 3010A는 복잡한 집적 회로 구조를 구축하기 위해 표면 에칭과 전도성 금속 층의 증착을 모두 수행 할 수 있습니다. 플라즈마 빔을 지시하는 다방향 빔 디플렉션 스테이션 (multi-directional beam deflection station) 이 장착되어 있으며, 0.02 미크론에서 플라즈마 구동 리소그래피를 허용합니다. PEP 3010A에는 통합 플라즈마 공급 장치 (Plasma Supply Unit) 가 있으며, 효율적인 처리를 위해 필요한 압력 및 유량이 필요한 가스 공급을 보장하도록 설계되었습니다. 또한 밀폐형 루프 컨트롤러 (closed-loop controller) 가 장착되어 가스 유속 (gas flow rate) 과 가스 구성 (gas composition) 의 최적화를 지속적으로 모니터링하고 조정합니다. 또한 마이크로 포부 시스템 (micro-aspiration systems) 으로 설계되어 에치 (etch) 와 스퍼터 속도 (sputter rate) 의 정확한 제어 및 금속 강착 층의 정확한 타이밍을 허용합니다. 이 기계는 또한 필요한 에치 레이트 (etch rate) 와 레이어 두께를 정확하게 제어 할 수있는 자동화된 엔드 포인트 감지 도구 (end-point sensing tool) 로 설계되었습니다. 이 에셋은 원하는 프로파일과 레이어 두께를 달성한 경우, 에칭 (etching) 프로세스와 신호를 지속적으로 모니터링합니다. 또한 GASONICS/NOVELLUS PEP 3010A에는 고속 AD 정확한 결함 감지 및 자동 복구를 갖춘 고급 진단 모델이 장착되어 있습니다. 간편하고 안정적인 유지 보수가 가능한 완전한 툴 세트가 패키지를 완성합니다 (영문). GASONICS PEP 3010A 는 오늘날 가장 까다로운 에칭 (etching) 요구 사항을 충족하도록 설계되었으며, 최첨단 프로세스에 필요한 유연성과 정확성을 제공합니다. 정확한 이미징, 빠르고 정확한 종점 감지 및 자동 유지 관리의 조합으로 NOVELLUS PEP 3010A는 모든 에칭 및 스퍼터링 어플리케이션에 이상적인 솔루션입니다.
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