판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS PEP 3010A #293824576
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GASONICS/NOVELLUS Aura 2000은 최첨단 에처/애셔 장비로, 다양한 기판에서 장치를 소액화하는 데 사용됩니다. CVD (chemical vapor deposition) 및 PECVD (plasma-enhanced chemical vapor deposition) 를 사용하여 장치의 미세 조화를 위해 패턴 화, 에칭, 평면 화 및 코팅 기판을 사용할 수 있습니다. 이 시스템에는 4 개의 독립적 인 반응 챔버 (reaction chamber) 가 있으며, 단일 기질에서 여러 프로세스가 완료 될 수있다. GASONICS Aura 2000에는 CVD와 PECVD를위한 2 개의 개별 가스 전달 시스템이 있습니다. 이 장치에는 반응 챔버의 습도를 제어하는 초음파 가습기 (ultrasonic humidifier) 가 있어 균일 한 기화 가스 환경을 보장합니다. 난방 된 챔버에는 고출력 플라즈마 소스 (Plasma Source) 가 장착되어 기능의 에칭 및 평면 화가 가능합니다. 또한, 멀티 사이트 코터 (multisite coater) 를 사용하여 넓은 지역의 구조화 된 표면에 필름을 적합하게 증착시킬 수 있습니다. NOVELLUS Aura 2000 컨트롤러는 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 소프트웨어를 사용하기 쉽고, 사용자가 프로세스를 설치하고 모니터링할 수 있도록 합니다. 이 컨트롤러는 컴퓨터의 다른 컴퓨터에 연결하여 원격 작동 (Remote Operation) 및 모니터링 (Monitoring) 을 수행할 수 있습니다. 원격 인터페이스를 통해 원격 도구 진단 및 업데이트도 가능합니다. Aura 2000은 다양한 패턴, 에칭 및 코팅 프로세스를 수행하는 데 사용되는 고급 etcher/asher입니다. 4 개의 독립적 인 반응 챔버, 이중 가스 전달 시스템, 통합 컨트롤러 (Integrated Controller) 는 장치의 마이크로 패브릭을위한 강력한 도구입니다. 자산은 모델의 다른 시스템과도 호환되므로 원격 (remote) 운영 및 모니터링이 가능합니다.
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