판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS PEP 3010A #293824443
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GASONICS/NOVELLUS Aura 3000은 DIP (Digital Imaging Processing) 및 SLP (Seamless Layer Processing) 와 같은 고급 기술을 사용하여 다양한 재료에서 정확한 기능과 표면을 만드는 고급 에처/애셔 머신입니다. 이 시스템은 매우 정확하고, 정밀하고, 고속 제조 어플리케이션에 적합합니다. 이 기계는 ICP 챔버와 멀티 웨이브 동작 및 조절 가능한 에치 각도를위한 통합 된 모션 스테이지가있는 대형 다이아몬드-하드 챔버 (Diamond-Hard chamber) 를 포함하여 두 가지 다른 챔버 옵션을 제공합니다. GASONICS Aura 3000은 RF 생성기, 마이크로 웨이브 생성기 및 가변 아크 플라즈마 생성기를 포함한 3 개의 독립적 인 DIP 소스를 제공합니다. 이러한 독립 소스는 최고의 에칭 품질을 보장합니다. 이 기계에는 또한 독립적 인 DIP 소스를위한 3 개의 독립적 인 격리기 (isolator) 가 있어서 에칭 과정에서 오염이 발생하지 않습니다. 노벨 루스 오라 3000 (NOVELLUS Aura 3000) 은 또한 에칭 할 재료의 중요한 기능을 식별하는 레이저 검출기를 제공합니다. 이렇게 하면 더 정확 한 "에칭 '을 할 수 있게 되며, 또한 매끄러운 표면 의 마무리 와 재질 의 마모 를 줄일 수 있게 된다. 또한, 이 기계에는 온보드 비전 (integrated vision) 카메라가 포함되어 있어 시스템이 에칭 프로세스를 정렬하고 모니터링할 수 있습니다. 또한 Aura 3000 에는 다양한 프로세스 제어 피드백 툴 (feedback tools) 이 포함되어 있어 에칭 프로세스를 더욱 쉽게 관리하고 정확합니다. 이러한 피드백 도구 (feedback tools) 는 프로세스를 모니터링하여 에칭 주기의 모든 단계를 통해 정확한 조건이 유지되도록 합니다. 이러한 프로세스 제어 기능 외에도 GASONICS/NOVELLUS Aura 3000에는 빠른 에치 속도, 펄스 너비 스캔, 세그먼트 스캔, 지연 명령 등의 고급 제어 기능도 포함되어 있습니다. 이러한 고급 제어 (advanced control) 기능을 통해 사용자는 에칭 프로세스를 완벽하게 제어하고 에칭을 매우 효율적으로 수행할 수 있습니다. 마지막으로 GASONICS Aura 3000은 가혹한 생산 환경에서 장기적인 내구성을 위해 제작되었습니다. 지속적으로 사용하도록 설계되었으며 부식 내성 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 제작되었습니다. 이 "에너지 '는 기계 의 정확 한 정확성 을 오래 유지 할 것 이며, 가장 극단적 인 생산 상태 에서 안정적 으로 작동 할 것 이다. 전반적으로 NOVELLUS Aura 3000은 전문적인 등급 기능, 성능 및 정확성을 제공하는 강력하고 신뢰할 수있는 에치/애쉬 머신입니다. 고급 기능, 제어 기능, 내장형 안정성을 통해 고정밀도, 고속 에칭, 애싱 (ashing) 어플리케이션을 선택할 수 있습니다.
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