판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9374853

GASONICS/NOVELLUS L 3510은 반도체 장치 제조를위한 고급 에치/애쉬 장비입니다. 다른 에치/애쉬 시스템에 비해 높은 처리량, 우수한 증착력, 우수한 패턴 충실도를 제공합니다. 높은 스루핑 (through-put) 기능을 갖춘 이 시스템은 운영 수준의 처리량을 지원하면서 최대 6 인치 웨이퍼까지 유연성과 확장성을 제공합니다. 이 프로세스는 Precursor 모듈에서 시작됩니다. Precursor 모듈은 에칭 (etching) 또는 애싱 (ashing) 단계 전에 장치를 미리 처리하도록 설계되었습니다. 이 모듈에는 염소, 질소, 불소를 포함한 다양한 화학 전구체의 대용량, 단일 용량 공급원이 있습니다. 이러한 전구체 조합은 더 밀도가 높은 레이어 배치, 향상된 패턴, 처리 시간 감소로 이어집니다. 에치/애쉬 (Etch/Ash) 모듈에서 웨이퍼는 에치/애쉬 소스를 포함하고 화학 물질의 조합에 노출되는 공정 챔버에 배치된다. 일련의 백투백 펄스 샤워 (back-to-back pulse shower) 단계는 증착과 에칭을 보장하는 반면, 고속 반응성 이온 에칭 프로세스는 장치 패턴을 에칭합니다. 플라즈마 소스 (Plasma Source) 모듈은 고주파 생성기를 사용하여 플라즈마를 생성하며, 이는 에칭과 재싱을 가능하게 하기 위해 원하는 재료에 에너지를 공급합니다. 플라즈마 소스는 또한 습식 에치/애쉬 시스템에 비해 개선 된 유전체 범위, 더 높은 종횡비, 더 빠른 처리 시간을 지원합니다. 또한 GASONICS L 3510에는 실시간 모니터링, 추세 표시 및 로그 파일 검색을 위한 다기능 Log Book이 제공됩니다. 이렇게 하면 모든 프로세스 매개변수 (process parameter) 를 모니터링할 수 있고, 모든 실행 전에 장치가 프로세스 챔버의 전체 스윕 (full sweep) 을 완료할 수 있습니다. 따라서 일관성, 정확성 및 신뢰성이 보장됩니다. NOVELLUS L 3510은 다재다능하고 강력한 에치/애쉬 머신으로, 최대 6 인치의 웨이퍼를 시간과 비용으로 처리하도록 설계되었습니다. 높은 처리량과 우수한 패턴 충실도 (pattern fidelity) 의 조합으로 반도체 소자 제조에 적합합니다.