판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9299015

GASONICS/NOVELLUS L 3510은 반도체 산업의 까다로운 생산 요구를 위해 설계된 고급형 etcher/asher 장비입니다. 이 시스템에는 Q-200 High-Speed Q-Switch가 있으며 최고 200nm/sec의 뛰어난 균일성과 높은 증착률을 제공합니다. 이 장치는 또한 최대 75 밀리바 (millibar) 의 가스 작동 압력을 갖추고 있어 프로세스 사이클이 빨라지면서 효율적인 처리량을 제공합니다. 또한, 기계는 X-Y 스캐닝 마운트 (최대 22 와트/cm2) 로 인해 한 번에 넓은 영역을 노출 할 수 있습니다. GASONICS L 3510은 유명한 Open-loop Sense-and-Match ™ 컨트롤을 통해 프로세스 안정성을 제공하며, 이를 통해 etch 프로세스 동안 중요한 매개변수를 실시간으로 조정할 수 있습니다. 이를 통해 사용자는 에치 (etch) 프로세스를 세밀하게 조정하여 레시피가 최고의 최종 제품에 맞게 최적화되도록 할 수 있습니다. 이 도구는 또한 반복적인 수동 프로세스에 대한 운영자의 참여를 최소화하기 위해 지능형 자동화를 제공합니다. NOVELLUS L 3510은 또한 안전을 위해 설계되었으며, 오염 및 소음 감소의 최소 위험을 위해 Class M 차폐를 자랑합니다. 또 다른 안전 (safety) 기능은 챔버 내부를 관찰 할 수있는 잠망경입니다. 이 자산에는 플라스마 잠재력을 실시간으로 측정하고 모니터링하는 GASONICS Proprietary 정식 유도 V ™ 모델도 탑재되어 있습니다. 이것 은 "플라즈마 '장비 를 공정" 챔버' 에 과도 한 전압 축적 으로 인한 잠재적 인 반바지 로부터 안전 하게 만든다. 최고의 성능과 최대 처리량을 보장하기 위해 L 3510에는 혁신적인 P-Integrated Cradle (P-Integrated Cradle) 이 장착되어 있어 기판 정렬이 더 세고 기판 전체의 열 그라디언트가 줄어듭니다. 열 축적 (heat buildup) 으로 손상될 수 있는 고가용성 (High-Aspect Ratio) 기능을 가져올 때 중요한 기능입니다. 이 시스템은 또한 X 및 Y 축에 균일 한 차폐와 등온화 된 격리 된 RF/DC 구성 요소를 갖추고 있습니다. GASONICS/NOVELLUS L 3510은 반도체 산업의 요구를 염두에두고 설계된, 고급적이고 유능한 etcher/asher 장치입니다. 이를 통해 사용자는 높은 수준의 프로세스 제어, 탁월한 성능, 탁월한 안전성을 누릴 수 있습니다. 높은 종횡비 (High-Aspect Ratio) 에칭에서 특수 기판 및 프로세스에 이르기까지 다양한 프로세스에 이상적인 기계입니다.