판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9299013

GASONICS/NOVELLUS L 3510 (GASONICS/NOVELLUS L 3510) 은 다양한 재료에서 빠른 속도로 복잡한 패턴화 프로세스를 수행 할 수있는 고급 레벨 etcher/asher입니다. 이 400MHz 장비는 반도체, 광전자, 화학 기계 연마, 생의학 산업 등 다단계, 다단계 패턴 응용 분야를 위해 특별히 설계되었습니다. GASONICS L 3510은 최첨단 에칭/어싱 (eching/ashing) 기술을 사용하여 설계 및 제조되어 결과의 정확성과 반복성을 보장합니다. 이 시스템은 다양한 고급 매개변수 최적화 (advanced parameter optimization) 기능을 갖추고 있어 매개변수와 해상도를 정확하게 제어할 수 있습니다. 이 장치는 또한 온보드, 고해상도 이미징 머신의 이점을 얻어 정확한 패턴화와 일관된 결과를 보장합니다. NOVELLUS L 3510에는 4 개의 웨이퍼 캐리어 및 인터페이스 프로그램이 포함되어 있으며 웨이퍼 방향 및 관리를 정확하게 제어합니다. 이 도구에는 기판 로드 및 언로드 모두를 위해 소프트웨어 제어 카세트 리프트 에셋 (software-controlled cassette lift asset) 이 장착되어 있습니다. L 3510은 에칭 및 애싱 처리 매개변수의 정밀 제어를 위해 자동화 된 셔터 모델을 갖추고 있습니다. 또한, 장비에는 회전 턴테이블이있는 독립적 인 웨이퍼 로드 록 챔버 (wafer loadlock chamber) 가 포함되어 있으며, 외부 환경에 노출되지 않고 깨끗한 응용과 에칭, 애싱 미디어를 제거 할 수 있습니다. GASONICS/NOVELLUS L 3510은 고급 GUI (Graphics User Interface), 실시간 모니터링 및 제어 기능, 클로즈 커플 링 된 보트, 온도 조절 챔버 등 다양한 옵션을 추가로 제공합니다. 전반적으로 GASONICS L 3510 (GASONICS L 3510) 은 강력한 에처/애셔 (etcher/asher) 로, 다양한 고급 기술로 인해 복잡하고 정밀도가 높은 패턴화 프로세스가 필요한 산업에 귀중한 옵션입니다. 기존 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 도구에 소요되는 시간 중 일부분에서 사용자가 정확하고 반복 가능한 결과를 제공할 수 있도록 설계되었습니다.