판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9299012

GASONICS/NOVELLUS L 3510은 금속, 금속 합금, SiO2, TiO2 및 SiN과 같은 재료를 정확하고 효율적으로 에치하도록 설계된 플라즈마 에처입니다. 개방형 아키텍처 덕분에, 고급 프로세스 제어 알고리즘을 갖춘 안정성이 뛰어난 RF 설계를 갖추고 있습니다. 이를 통해 높은 정밀도와 유연성을 필요로 하는 프로세스를 구현할 수 있습니다. GASONICS L 3510은 최첨단 에칭 프로세스 제어 및 도량형 기능을 제공합니다. NOVELLUS L 3510 (NOVELLUS L 3510) 은 고주파 및 저주파 라디오 주파수를 모두 사용하여 패턴 웨이퍼를 따라 표면을 정확하게 생성하거나 수정합니다. 에칭 (etching) 과정에서 에칭 이온의 전자 에너지 분포를 측정하고 플라즈마를 조정하여 원하는 결과를 얻는 데 사용되는 고급 차동 이동성 분석기 (advanced differential mobility analyzer) 도 갖추고 있습니다. 이것 은 "플라즈마 '가" 웨이퍼' 를 너무 깊이 혹은 너무 가늘게 에칭 하지 않도록 도와 주며, 이것 은 "에치 '되고 있는 장치 나 기판 을 손상 시키거나 저하 시킬 수 있다. L 3510에는 In-situ 및 ex-situ 모드 모두에서 작동 할 수있는 챔버가 장착되어 있습니다. 인사이트 프로세스 (in-situ process) 는 일반적으로 프로세스 챔버 (process chamber) 가 처리되는 동안 장치를 수정하는 데 사용될 수있는 매우 정밀한 부품 제조에 사용됩니다. 엑시 투 (ex-situ) 공정에서, 챔버는 챔버에서 제거되면 장치 또는 기질에 트리트먼트 및 코팅을 적용하는 데 사용된다. 이렇게 하면, 오염 가능성 이 줄어들면서 보다 빠르고 정확 한 처리 를 할 수 있습니다. GASONICS/NOVELLUS L 3510은 컴퓨터 제어 소프트웨어 인터페이스를 사용하여 프로세스 매개변수 및 장비 설정을 완전히 제어합니다. 또한 모듈식 (modular) 설계를 통해 사용자가 쉽게 기능을 추가하고 업그레이드할 수 있습니다. 이로 인해 GASONICS L 3510은 다양한 에칭 및 클리닝 작업을 처리 할 수있는 매우 다양한 에칭 시스템입니다. NOVELLUS L 3510 (NOVELLUS L 3510) 에는 여러 가지 안전 기능이 장착되어 있어 장치가 안전하게 작동하는지 확인합니다. 여기에는 갑작스런 압력 증가시 전원을 차단하는 "과압 (over-pressure) '보호 장치가 포함됩니다. 또한, 이 도구에는 특정 프로세스 문제를 감지하고 자동으로 수정할 수 있는 경보 에셋 (alarm asset) 이 장착되어 있습니다. L 3510은 안정적이고 높은 품질의 결과를 얻을 수 있도록 설계된 매우 효율적이고 안정적인 에칭 모델입니다. 고급 기능 (Advanced Features) 과 광범위한 기능을 갖춘 이 장비는 안정적이고 정확한 에칭 (eching) 프로세스를 제공합니다.