판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9299011

GASONICS/NOVELLUS L 3510은 다양한 어플리케이션에 고품질 에칭 솔루션을 제공하기 위해 설계된 고급 etcher/asher 장비입니다. 광범위한 화학 물질과 가스를 사용할 수 있도록 특별히 설계된 최첨단 가스/액체 전달 시스템 (State-of-art gas/liquid delivery system) 이 특징입니다. 이 장치는 다른 압력 및 온도에서 정확하게 제어 된 액체 (liquid) 또는 가스 (gas) 흐름을 전달하도록 구성 될 수 있습니다. GASONICS L 3510은 최대 200mm 직경의 반도체 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 여기에는 단일 웨이퍼 카세트 (wafer cassette) 와 여러 개의 전송 모듈 (transport module) 이 포함되어 있어 웨이퍼를 프로세스 챔버 내부에서 외부로 이동합니다. 이 기계는 Ponderomotor-Controlled 플라즈마 소스를 사용하여 선택성이 높은 결함이없는 재료를 가져옵니다. 이 "플라즈마 '원 을 여러 가지 다른 주파수 로 조정 하여 여러 형태 의 재료 를 식각 시킬 수 있다. 이 도구에는 고출력 RF 생성기, 다중 독립 영역 온도 제어, 실시간 웨이퍼 평판 측정, 고급 벡터 이온 소스, 통합 플라즈마 소스 (Plasma Source) 등 여러 가지 고급 기능도 있습니다. 또한 강력한 소프트웨어 패키지가 함께 제공되어, 에칭 프로세스 중에 전력, 온도, 가스, 화학 물질 등의 매개변수를 쉽게 모니터링하고 수정할 수 있습니다. 탁월한 에칭 성능을 보장하기 위해 에셋은 긴급 개방/닫기 기능, 과압 및 충돌 방지, 가변 압력 안전 밸브 (variable pressure safety valve) 및 비상 가스 차단 (emergency gas shut) 과 같은 여러 안전 기능으로 설계되었습니다. NOVELLUS L 3510은 유전체, 금속 및 중합체를 포함한 다양한 재료를 빠르고 정확하게 식각 할 수 있습니다. 고정밀도 에칭 기능을 통해 반도체 장치의 성능을 극대화하고 생산량을 개선할 수 있습니다. 대용량, 고정밀 작동을 위한 안정적이고 정교한 에칭 솔루션입니다.