판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9299010

GASONICS / NOVELLUS L 3510
ID: 9299010
웨이퍼 크기: 6"
Asher, 6".
GASONICS/NOVELLUS L 3510은 반도체 제조를위한 에칭 및 애싱 장비입니다. 이 친환경적인 시스템은 업계 표준 및 성능 요구 사항에 따라 정확하고, 고품질의 석판화 (lithography) 를 제공하도록 설계되었습니다. 고급 측면 전류 에칭 및 애싱 기술로, GASONICS L 3510은 바닥 반사 방지 코팅을 통해 0.35m까지 작은 기능에서 최대 에칭 수동과 균일 성을 제공합니다. 온보드 캐리어 (On-board Carrier) 관리는 정확한 개체 내 에칭 제어를 제공하며, 별도의 컴퓨터 컨트롤러가 필요하지 않은 전면 패널을 갖추고 있습니다. NOVELLUS L 3510은 높은 종횡비, 높은 선택도 에칭, 고급 기능 트림 등의 응용 프로그램과 호환되는 모듈식 장치입니다. 최대 1,500W의 에칭 전력, 최대 600W의 애싱 (ashing) 을 제공하여 크고 작은 크기의 처리량을 증가시킵니다. 이 기계는 또한 가변 강화 전자 소스 (variable-intensified electron source) 를 특징으로하여 와이드 라인 응용 프로그램 및 고 생산성 프로세스에 최적의 성능을 제공합니다. 또한 L 3510에는 공구 통찰력 및 제어를 극대화하는 고급 진단 (advanced diagnostics) 과 프로세스 제어를 강화하는 고급 Endura 소프트웨어가 포함되어 있습니다. Endura 소프트웨어는 자산 및 프로세스 최적화를 효율적으로 사용할 수 있습니다. 또한 포괄적인 프로세스 관리 기능과 안전한 데이터 기록 (Data Recording) 기능을 제공하여 모델을 다양하고 유용하게 사용할 수 있습니다. GASONICS/NOVELLUS L 3510의 직관적 인 사용자 인터페이스와 풀 컬러 챔버 일러스트를 사용한 실시간 챔버 진단 (Real-Time Chamber Diagnostics) 도 유용성을 더합니다. 전체적으로, GASONICS L 3510은 정확한 리소그래피 성능을 제공하는 고급, 신뢰할 수있는 에칭 및 애싱 장비입니다. 반도체 (반도체) 업계에 이상적이다. 미래형 디자인은 안정적이고 효율적인 석판화 (석판화) 성능을 추구하는 사람들에게 좋은 선택이다. 플러그 앤 플레이 (plug and play) 설정과 사용하기 쉬운 기능을 갖춘 NOVELLUS L 3510은 에칭 및 애싱 시스템을 찾는 사람들에게 적합한 선택입니다.
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