판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9299009

GASONICS/NOVELLUS L 3510은 고급 정확도, 제어 및 처리량으로 웨이퍼 처리를 처리하도록 설계된 정교한 에칭 및 애싱 장비입니다. 3 단계 아키텍처를 통해 다이 선택성이 낮고 적당한 고급 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 작업을 수행할 수 있습니다. GASONICS L 3510은 최대 0.45 미크론의 두께로 에칭 및 재 증착에 이상적입니다. 이 시스템에는 에칭 (etching )/애싱 (ashing) 프로세스의 정밀 작동 및 모니터링을 위한 고급 제어 콘솔이 장착되어 있습니다. 실시간 프로세스 데이터를 사용하여 최고의 성능을 보장합니다. 이 터치스크린 콘솔은 사용자 친화적이며, 사용하기 쉬운 인터페이스를 제공하여 작업 프로그래밍에 도움을 줍니다. 이 장치는 특허를받은 4 사분면 가스 전달 기계를 갖추고 있으며, 넓은 지역에 대한 정확한 에칭 및 재시를 허용합니다. 이 도구는 두 개의 포트를 사용합니다. 저압을 공급하고, 하나는 고압을 공급합니다. 흐름은 균등하게 유지되고 양방향으로 균일하게 유지되며, 그에 따라 배경 압력을 조정할 수 있습니다. 또한, 자산에는 많은 재료의 빠른 열 어닐링 (thermal annealing) 을 허용하는 빠른 열 처리 장치가 내장되어 있습니다. 이것은 계단식 디자인이 다른 웨이퍼 처리에 특히 유용합니다. RTP 장치는 맥박 및 일정한 열 모드에서 작동하여 정확한 온도 제어를 제공합니다. NOVELLUS L 3510에는 우수한 웨이퍼 처리 및 프로세스 제어를 보장하는 멀티 스테이지 진공 (multi-stage vacuum) 모델을 사용하는 통합 진공 메커니즘도 있습니다. 여기에는 진공 소스, 게이트 밸브 (gate valve) 및 진공 압력의 정확한 제어를위한 컨트롤러가 포함됩니다. 마지막으로, 장비에는 레이저 보조 스캔 센서 (레이저 보조 스캔 센서) 가 있으며, 이 센서는 웨이퍼의 정밀 정렬 및 이동에 사용됩니다. 이렇게 하면 "웨이퍼 '를 한" 에칭' 에서 다음 "에칭 '으로 쉽고 빠르게 이동 시킬 수 있다. 또한 레이저 보조 스캔 센서를 사용하면 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 각도를 정확하게 조정하여 최적의 에칭 및 애싱 성능을 얻을 수 있습니다.